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1. WO2005008718 - APPAREIL DE TRAITEMENT EN CONTINU DE LA SURFACE POUR UN POLYMERE EN FORME DE FILM, PROCEDE DE TRAITEMENT EN CONTINU DE LA SURFACE

Numéro de publication WO/2005/008718
Date de publication 27.01.2005
N° de la demande internationale PCT/KR2003/002109
Date du dépôt international 13.10.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 18.02.2005
CIB
H01J 37/32 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
CPC
H01J 37/32082
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
H01J 37/3244
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
3244Gas supply means
H01J 37/3277
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32733Means for moving the material to be treated
32752for moving the material across the discharge
32761Continuous moving
3277of continuous material
Déposants
  • EPON CO., LTD. [KR/KR]; Rm.107 Apt-type factory 5Ra 301BL Shiwha industrial Complex 672 Seonggok-dong, Ansan-city Kyunggi-do 425-836, KR (AllExceptUS)
  • CHOI, Yong Rak [KR/KR]; KR (UsOnly)
Inventeurs
  • CHOI, Yong Rak; KR
Mandataires
  • PARK, Man-Soon; 2nd Fl., Dukwon Bldg., 637-19 Yeoksam-dong Kangnam-gu Seoul 135-080, KR
Données relatives à la priorité
10-2003-005017522.07.2003KR
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) CONTINUOUS SURFACE-TREATING APPARATUS FOR FILM SHAPE OF POLYMER AND CONTINUOUS SURFACE-TREATING METHOD THEREOF
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT EN CONTINU DE LA SURFACE POUR UN POLYMERE EN FORME DE FILM, PROCEDE DE TRAITEMENT EN CONTINU DE LA SURFACE
Abrégé
(EN)
The present invention provides a continuous surface treatment apparatus, and a continuous surface method on the surface of film-shaped polymer by plasma ion-implantation of negative voltage pulse, for improving the antistatic characteristics and the conductibility of the surface of the polymer. In the continuous surface treatment apparatus of film-shaped polymer including a high frequency power supplying device for generating plasma and thus, injecting ions, and having a high frequency power supplying unit, a matching box, and an antenna, a gas introducing unit for supplying process gas to be ionized for plasma, a gas supplying unit connected to the gas introducing unit, and a processing chamber having a vacuum pump and the like, the continuous surface treatment apparatus further includes a leading-in chamber, and an leading-out chamber, which are installed before and after the processing chamber respectively with adjacent thereto, and are adapted to be gas-exhaustible, spouts located in partitions between the leading-in chamber and the processing chamber, and between the processing chamber and the leading-out chamber respectively, for passing the film-shaped polymer therethrough, a cylindrical plate for holding the film-shaped polymer inside the processing chamber, and a cylindrical-shaped grid located near the cylindrical plate, the cylindrical plate and the cylindrical-shaped grid being electrically connected to a high voltage pulse generating unit.
(FR)
La présente invention concerne un appareil de traitement en continu de la surface ainsi qu'un procédé de traitement en continu de la surface mis en oeuvre sur la surface d'un polymère en forme de film par implantation d'ions au plasma avec des impulsions de tension négative, afin d'améliorer les caractéristiques antistatiques et la conductibilité de la surface du polymère. L'appareil de traitement en continu de la surface du polymère en forme de film comprend un dispositif d'application de puissance haute fréquence qui génère un plasma et par conséquent, injecte des ions et une unité d'alimentation en puissance haute fréquence, un coffret d'adaptation et une antenne, une unité d'introduction de gaz qui apporte le gaz de traitement devant être ionisé pour le plasma, une unité d'alimentation en gaz qui est reliée à l'unité d'introduction de gaz et une chambre de traitement comprenant une pompe à vide et autre. L'appareil de traitement en continu de la surface comprend également une chambre d'arrivée et une chambre de sortie qui sont installées respectivement avant et après la chambre de traitement et qui sont prévues pour assurer l'extraction du gaz; des passages qui sont situés respectivement dans des parois entre le chambre d'arrivée et la chambre de traitement et entre la chambre de traitement et la chambre de sortie, et qui servent à laisser passer le polymère en forme de film; une plaque cylindrique prévue pour retenir le polymère en forme de film à l'intérieur de la chambre de traitement et une grille de forme cylindrique située à proximité de la plaque cylindrique; la plaque cylindrique et la grille de forme cylindrique étant électriquement reliées à une unité de génération d'impulsions haute tension.
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