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Paramétrages

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1. WO2005008223 - PROCEDES DE DETECTION DE DEFAUTS ET DE SURVEILLANCE DE TRAITEMENT BASE SUR DES IMAGES DE MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE (SEM)

Numéro de publication WO/2005/008223
Date de publication 27.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/023024
Date du dépôt international 15.07.2004
CIB
G01N 21/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
G06T 7/00 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
CPC
G06T 2207/10061
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
10Image acquisition modality
10056Microscopic image
10061from scanning electron microscope
G06T 2207/20101
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
20Special algorithmic details
20092Interactive image processing based on input by user
20101Interactive definition of point of interest, landmark or seed
G06T 2207/30148
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30148Semiconductor; IC; Wafer
G06T 5/30
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
5Image enhancement or restoration
20by the use of local operators
30Erosion or dilatation, e.g. thinning
G06T 7/001
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
0002Inspection of images, e.g. flaw detection
0004Industrial image inspection
001using an image reference approach
G06T 7/11
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
10Segmentation; Edge detection
11Region-based segmentation
Déposants
  • APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. [IL/IL]; 8 Oppenheimer Street 76236 Rohovot, IL (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, SZ, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM)
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A Santa Clara, CA 95052, US (ZW)
  • KARSENTI, Laurent [IL/IL]; IL (UsOnly)
Inventeurs
  • KARSENTI, Laurent; IL
Mandataires
  • FAHMI, Tarek; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 12400 Wilshire Boulevard Seventh Floor Los Angeles, CA 90025-1030, US
Données relatives à la priorité
60/488,56118.07.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHODS FOR DEFECT DETECTION AND PROCESS MONITORING BASED ON SEM IMAGES
(FR) PROCEDES DE DETECTION DE DEFAUTS ET DE SURVEILLANCE DE TRAITEMENT BASE SUR DES IMAGES DE MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE (SEM)
Abrégé
(EN)
A morphological operation is applied to an SEM image to obtain a idealized image, and the idealized image is used to detect a defect in a subject of the SEM image. The defect is detected by subtraction of the idealized image from the original image. Morphological operations are used also to entrance the visibility of defects or to check for irregularities in patterns. Other described methods comprise: growing a flow from seed points in the image, in order to define maps in which particles can be identified; checking for separation of objects in the image by growing flows from seed points located on the objects; segmenting the image into supposed identical objects and applying statistical methods to identify the defective ones.
(FR)
Selon l'invention, une opération morphologique est appliquée sur une image de SEM afin d'obtenir une image idéalisée et l'image idéalisée est utilisée pour détecter une défaut dans un sujet de l'image de SEM.
Également publié en tant que
US2006251340
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international