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1. WO2005006405 - BOITE POUR PLAQUETTES A MOUVEMENT REDUIT

Numéro de publication WO/2005/006405
Date de publication 20.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/005725
Date du dépôt international 25.02.2004
CIB
H01L 21/673 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
CPC
H01L 21/67369
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67369characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
Déposants
  • ILLINOIS TOOL WORKS, INC. [US/US]; 3600 West Lake Avenue Glenview, IL 60025, US (AllExceptUS)
Inventeurs
  • FORSYTH, Valoris, L.; US
Mandataires
  • LEVY, Gerald; Pitney Hardin LLP 7 Times Square New York, NY 10036-7311, US
Données relatives à la priorité
60/479,08617.06.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) REDUCED MOVEMENT WAFER BOX
(FR) BOITE POUR PLAQUETTES A MOUVEMENT REDUIT
Abrégé
(EN)
The semiconductor wafer containment device or wafer box includes a base with a planar floor and a cylindrical wall arising therefrom. A double concentric wall structure (22, 24) includes slots (26, 28, 30, 32) which receive body chip wafer pins (90) which extend into the space formed between the inner cylindrical wall and the wafer so as to cushion the semiconductor wafers and prevent movement of the semiconductor wafers during transportation. Alternately, a single cylindrical wall includes slots which receive extruded finned pins (140) which include fins which extend inward into the space formed within the cylindrical wall so as to cushion the semiconductor wafers and prevent movement of the semiconductor wafers during transportation. The semiconductor wafer containment device or wafer box further includes a lid (70) which is engaged by the base thereby capturing the extruded finned pins during transportation.
(FR)
L'invention a trait à un dispositif de confinement de plaquettes semi-conductrices ou à une boîte pour plaquettes, qui comprennent une base dotée d'un fond plan et d'une paroi cylindrique s'étendant verticalement à partir de ce dernier. Une structure à double paroi concentrique comporte des fentes destinées à recevoir des broches de plaquettes de puces de corps qui s'étendent dans l'espace formé entre la paroi cylindrique interne et la plaquette afin de protéger les plaquettes semi-conductrices contre les chocs et d'éviter que ces dernières ne se déplacent lors du transport. Dans une autre variante, une paroi cylindrique unique comporte des fentes qui reçoivent des broches à ailettes extrudées possédant des ailettes qui s'étendent vers l'intérieur dans l'espace formé dans la paroi cylindrique, afin de protéger les plaquettes semi-conductrices contre les chocs et d'éviter que ces dernières ne se déplacent lors du transport. Le dispositif de confinement de plaquettes semi-conductrices ou la boîte pour plaquettes selon l'invention comprennent un couvercle avec lequel la base vient en prise, ce qui permet de capturer les broches à ailettes extrudées lors du transport.
Également publié en tant que
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