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Paramétrages

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1. WO2005006076 - SYSTEMES DE GROSSISSEMENT ET DE CORRECTION DE DISTORSION POUR DES PROCEDES LITHOGRAPHIQUES DE SURIMPRESSION

Numéro de publication WO/2005/006076
Date de publication 20.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/022454
Date du dépôt international 08.07.2004
CIB
B28B 11/08 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
28TRAVAIL DU CIMENT, DE L'ARGILE OU DE LA PIERRE
BFAÇONNAGE DE L'ARGILE OU D'AUTRES COMPOSITIONS CÉRAMIQUES, SCORIES OU MÉLANGES CONTENANT DES SUBSTANCES ANALOGUES AU CIMENT, p.ex. DU PLÂTRE
11Appareillages ou procédés pour le traitement ou le travail des objets façonnés
08pour façonner des surfaces, p.ex. replanissage, bouchardage, gaufrage, rainurage
B28B 7/02 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
28TRAVAIL DU CIMENT, DE L'ARGILE OU DE LA PIERRE
BFAÇONNAGE DE L'ARGILE OU D'AUTRES COMPOSITIONS CÉRAMIQUES, SCORIES OU MÉLANGES CONTENANT DES SUBSTANCES ANALOGUES AU CIMENT, p.ex. DU PLÂTRE
7Moules; Noyaux; Mandrins
02Moules à éléments réglables
A01J 25/12 2006.01
ANÉCESSITÉS COURANTES DE LA VIE
01AGRICULTURE; SYLVICULTURE; ÉLEVAGE; CHASSE; PIÉGEAGE; PÊCHE
JFABRICATION DES PRODUITS LAITIERS
25Fabrication du fromage
12Façonnage du fromage
A01J 21/00 2006.01
ANÉCESSITÉS COURANTES DE LA VIE
01AGRICULTURE; SYLVICULTURE; ÉLEVAGE; CHASSE; PIÉGEAGE; PÊCHE
JFABRICATION DES PRODUITS LAITIERS
21Machines pour mettre en pains le beurre ou les matières similaires
A21C 3/00 2006.01
ANÉCESSITÉS COURANTES DE LA VIE
21CUISSON AU FOUR; MATÉRIEL POUR LA PRÉPARATION OU LE TRAITEMENT DE LA PÂTE; PÂTE À CUIRE
CMACHINES OU MATÉRIEL POUR LA PRÉPARATION OU LE TRAITEMENT DE LA PÂTE; MANUTENTION DES PRODUITS CUITS EN PÂTE
3Machines ou appareils à façonner les blocs de pâte avant subdivision
CPC
B29C 2043/025
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
43Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
02of articles of definite length, i.e. discrete articles
021characterised by the shape of the surface
023having a plurality of grooves
025forming a microstructure, i.e. fine patterning
B29C 43/003
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
43Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
003characterised by the choice of material
B82Y 10/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
10Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
B82Y 40/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
40Manufacture or treatment of nanostructures
G03F 7/0002
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
0002Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
Déposants
  • MOLECULAR IMPRINTS, INC. [US/US]; 1807-C West Braker Lane, Suite 100 Austin, TX 78758-3605, US (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, SZ, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW)
Inventeurs
  • CHOI, Byung, Jin; US
  • SREENIVASAN, Sidlgata, V.; US
  • MEISSL, Mario, J.; US
Mandataires
  • BROOKS, Kenneth, C.; Suite 100 1807-C West Braker Lane Austin, TX 78758-3605, US
Données relatives à la priorité
10/616,29409.07.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEMS FOR MAGNIFICATION AND DISTORTION CORRECTION FOR IMPRINT LITHOGRAPHY PROCESSES
(FR) SYSTEMES DE GROSSISSEMENT ET DE CORRECTION DE DISTORSION POUR DES PROCEDES LITHOGRAPHIQUES DE SURIMPRESSION
Abrégé
(EN)
The present invention is directed toward a system to vary dimensions of a template in order to attenuate if not prevent distortions in an underlying pattern formed by the template. To that end, the system features a compression device that includes a pair of spaced-apart contact members to compress a perimeter surface of the template between the pair of spaced-apart contact members. The compression device includes first and second bodies, each has a contact member and an actuator arm. One of the actuator arms is coupled to the first body to reciprocate about an axis in response to variations of a volume of a bladder disposed adjacent to the actuator arm. In this manner, the distance between the two contact members may be varied.
(FR)
La présente invention concerne un système permettant de modifier les dimensions d'un gabarit afin de l'atténuer s'il n'est pas protégé contre les distorsions dans un modèle sous-jacent formé par le gabarit. A cet effet, le système présente un dispositif de compression comprenant une paire d'éléments de contact écartés permettant de comprimer une surface périphérique du gabarit entre la paire l'éléments de contact. Le dispositif de compression comporte des premier et second des corps, chacun ayant un élément de contact et un bras actionneur. Un des bras actionneurs est couplé au premier corps afin de suivre un mouvement alternatif autour d'un axe suite aux variations du volume d'une vessie adjacente au bras actionneur. De cette manière, la distance séparant les deux éléments de contact peut varier.
Également publié en tant que
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