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Paramétrages

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1. WO2005005832 - CRYOPOMPE

Numéro de publication WO/2005/005832
Date de publication 20.01.2005
N° de la demande internationale PCT/EP2004/006774
Date du dépôt international 23.06.2004
CIB
F04B 37/08 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
B"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES
37Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes F04B25/-F04B35/178
06pour l'évacuation par moyens thermiques
08par condensation ou réfrigération, p.ex. pompes cryogéniques
CPC
F04B 37/08
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
37Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
06for evacuating by thermal means
08by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
F04B 37/085
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
37Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
06for evacuating by thermal means
08by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
085Regeneration of cryo-pumps
Déposants
  • LEYBOLD VAKUUM GMBH [DE/DE]; Bonner Strasse 498 50968 Köln, DE (AllExceptUS)
  • WALTER, Gerhard, Wilhelm [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • SCHILLER, Dirk [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • OSSEGE, Karl [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • WISCHOTT, Hans [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • WALTER, Gerhard, Wilhelm; DE
  • SCHILLER, Dirk; DE
  • OSSEGE, Karl; DE
  • WISCHOTT, Hans; DE
Mandataires
  • SELTING, Günther ; Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln, DE
Données relatives à la priorité
103 31 201.310.07.2003DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) KRYOPUMPE
(EN) CRYOPUMP
(FR) CRYOPOMPE
Abrégé
(DE)
Die Erfindung bezieht sich auf eine Kryopumpe mit einem Pumpraum mit einer Gaseinlassöffnung und einer durch eine Kältequelle gekühlten Pumpfläche in dem Pumpraum. Die Gestaltung der Pumpfläche ist problematisch, da sie einerseits großflächig sein soll, andererseits das an der Pumpfläche wachsende Kondensat den Gasfluss an der Pumpfläche vorbei möglichst wenig behindern soll. Erfindungsgemäß wird die Pumpfläche als ein zur Gaseinlassöffnung (26) konvex gewölbter Schirm (17) ausgebildet, der an seiner der Gaseinlassöffnung (26) zugewandten Fläche knick- und kantenfrei ausgebildet ist. Durch die Vermeidung von Kanten und Knicken werden Kristallisationspunkte vermieden. Durch die Wölbung der Pumpfläche weg von der Gaseinlassöffnung wird ein schnelles Zusetzen des Einlassquerschnittes durch das anwachsende Gaskondensat vermieden.
(EN)
The invention relates to a cryopump comprising a pumping chamber that is provided with a gas inlet port and a pumping area which is located in the pumping chamber and is chilled by means of a source of cold. The design of the pumping area is critical as said pumping area should be large while the condensate accumulating thereupon should restrict the gas flow that passes the pumping area as little as possible. According to the invention, the pumping area is embodied as a screen (17) that is convexly arched relative to the gas inlet port (26) and is configured without cracks and edges on the surface facing the gas inlet port (26). Crystallization points are avoided by preventing edges and cracks from forming. Curving the pumping area away from the gas inlet port prevents the cross section of the inlet from being clogged quickly by the accumulating gas condensate.
(FR)
L'invention concerne une cryopompe comprenant une chambre de pompage pourvue d'une ouverture d'admission de gaz, ainsi qu'une surface de pompage située dans la chambre de pompage, cette surface étant refroidie par une source de froid. La conception de la surface de pompage pose problème car cette surface doit être étendue, mais le condensat s'accumulant sur ladite surface doit gêner le moins possible le flux de gaz circulant le long de celle-ci. Selon l'invention, la surface de pompage se présente sous la forme d'un écran (17) courbé de façon convexe par rapport à l'ouverture d'admission de gaz (26), la surface de cet écran orientée vers ladite ouverture ne présentant pas de coudes ni d'arêtes. L'absence de coudes et d'arêtes permet d'éviter la formation de points de cristallisation. Le fait que la surface de pompage soit courbée de façon convexe par rapport à l'ouverture d'admission de gaz permet d'éviter un encrassement rapide de la section d'entrée dû à une accumulation de condensat de gaz.
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