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Paramétrages

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1. WO2005005136 - DISPOSITIF ET PROCEDE DE NANOIMPRESSION

Numéro de publication WO/2005/005136
Date de publication 20.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/014874
Date du dépôt international 13.05.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 15.12.2004
CIB
B31F 1/07 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
31FABRICATION D'ARTICLES EN PAPIER, EN CARTON OU EN MATÉRIAUX TRAVAILLÉS D’UNE MANIÈRE ANALOGUE AU PAPIER; TRAVAIL DU PAPIER, DU CARTON OU DE MATÉRIAUX TRAVAILLÉS D’UNE MANIÈRE ANALOGUE AU PAPIER
FTRAVAIL OU DÉFORMATION MÉCANIQUE DU PAPIER, DU CARTON OU DES MATÉRIAUX TRAVAILLÉS DE MANIÈRE ANALOGUE AU PAPIER
1Déformation mécanique sans enlèvement de matière, p.ex. en combinaison avec une stratification
07Gaufrage
CPC
B82Y 10/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
10Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
B82Y 40/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
40Manufacture or treatment of nanostructures
G03F 7/0002
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
0002Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
Y10S 977/887
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
977Nanotechnology
84Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
887Nanoimprint lithography, i.e. nanostamp
Déposants
  • SUSS MICRO TEC INC. [US/US]; 228 Suss Drive Waterbury Center, VT 05677-0157, US
Inventeurs
  • GEORGE, Gregory, A.; US
  • JOHNSON, Hale, L.; US
  • MEYER, David, T.; US
Mandataires
  • GREEN, Clarence, A. ; Perman & Green, LLP 425 Post Road Fairfield, CT 06824, US
Données relatives à la priorité
10/439,88316.05.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) NANOIMPRINTING APPARATUS AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE NANOIMPRESSION
Abrégé
(EN)
A nanoimprinting apparatus for imprinting nanostructure on a workpiece. The apparatus comprises a frame, a platen, an embossing tool, and a separating tool. The platen is connected to the frame for separating the workpiece. The embossing tool is connected to the frame for imprinting nanostructure on the workpiece. The separating tool is connected to the frame for separating the workpiece and embossing tool. The separating tool has a workpiece engagement surface for engaging the workpiece when separating the workpiece and embossing tool. The embossing tool extends through the separating tool.
(FR)
Cette invention concerne un dispositif de nanoimpression pour l'impression de nanostructures sur une pièce. Le dispositif comprend un cadre, une platine, un emboutissoir et un outil de séparation. La platine est raccordée au cadre pour la séparation de la pièce. L'emboutissoir est relié au cadre et assure l'impression d'une nanostructure sur la pièce. L'outil de séparation, qui est relié au cadre, assure la séparation de la pièce et de l'emboutissoir. Il présente une surface d'engagement qui s'engage dans la pièce lors de sa séparation d'avec l'emboutissoir. L'emboutissoir traverse l'outil de séparation.
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