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Paramétrages

Paramétrages

1. WO2005005109 - ROBINET INVERSEUR

Numéro de publication WO/2005/005109
Date de publication 20.01.2005
N° de la demande internationale PCT/JP2003/008911
Date du dépôt international 14.07.2003
CIB
F16K 51/02 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
KSOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
51Autres détails non particuliers aux types de soupapes ou clapets ou autres appareils d'obturation
02spécialement conçus pour les installations de vide poussé
CPC
F16K 51/02
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
51Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
02specially adapted for high-vacuum installations
Y10T 137/87201
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
87169Supply and exhaust
87193Pilot-actuated
87201Common to plural valve motor chambers
Y10T 137/87233
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
87169Supply and exhaust
87233Biased exhaust valve
Y10T 137/87241
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
87169Supply and exhaust
87233Biased exhaust valve
87241Biased closed
Y10T 137/87885
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
877With flow control means for branched passages
87885Sectional block structure
Déposants
  • KURODA PRECISION INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 239, Shimohirama Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 212-8560, JP (AllExceptUS)
  • TAMAKI, Shigeo [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • UMEDA, Kosuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • TAMAKI, Shigeo; JP
  • UMEDA, Kosuke; JP
Mandataires
  • FURUYA, Fumio; Dai2 Meiho Bldg. 9th Floor 19-5, Nishishinjuku 1-Chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023, JP
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SWITCH VALVE DEVICE
(FR) ROBINET INVERSEUR
(JA) 切換弁装置
Abrégé
(EN)
A switch valve device used for sucking members such as semiconductor chips etc., by vacuum, and vacuum breaking is quickly and smoothly performed with the valve. The valve comprises a vacuum-sucking switch valve function for vacuum sucking, a vacuum-breaking switch valve function for vacuum breaking, and an open-to-air switch valve function that, interlocked with the operation of the vacuum-sucking switch valve function, opens a passage to the air side when the vacuum-sucking switch valve function is off, and closes the passage to the air side when the vacuum-sucking switch valve function is on. The vacuum-sucking switch valve function, the vacuum-breaking switch valve function, and the open-to-air switch valve function are integrally assembled to a main body portion.
(FR)
La présente invention concerne un robinet inverseur utilisé, d'une part pour aspirer des éléments tels que des microcircuits à semi-conducteurs, par dépression, et d'autre part pour supprimer la dépression rapidement et en douceur. Ce robinet comporte une fonction d'aspiration par dépression, une fonction de suppression de la dépression, et une fonction de mise à l'atmosphère qui, associée à la fonction d'aspiration par dépression, ouvre un passage de mise à l'atmosphère lorsque la fonction d'aspiration par dépression est annulée, et ferme ce passage lorsque cette même fonction est active. Les trois fonctions sont intégralement réunies dans le corps de robinet.
(JA)
本発明は、半導体チップ等の部材の真空吸着に使用される切換弁装置に関し、真空破壊を迅速かつスムーズに行うことを目的とする。真空吸着用の真空吸着用切換弁機能と、真空破壊用の真空破壊用切換弁機能と、真空吸着用切換弁機能の動作に連動して、真空吸着用切換弁機能がオフの時に大気側への通路を開放し、オンの時に大気側への通路を閉止する大気開放用切換弁機能とを備え、真空吸着用切換弁機能、真空破壊用切換弁機能および大気開放用切換弁機能を、本体部に一体的に組み込んでいる。
Également publié en tant que
DE10394269
US11327598
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