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Paramétrages

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1. WO2005003737 - DISPOSITIF DE PHOTODETECTION ET PROCEDE CORRESPONDANT

Numéro de publication WO/2005/003737
Date de publication 13.01.2005
N° de la demande internationale PCT/JP2004/009748
Date du dépôt international 08.07.2004
CIB
G01N 21/55 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
55Réflexion spéculaire
CPC
G01N 21/55
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
55Specular reflectivity
G01Q 60/22
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
60Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
18SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
22Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
G02B 21/002
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21Microscopes
0004specially adapted for specific applications
002Scanning microscopes
Déposants
  • 財団法人神奈川科学技術アカデミー KANAGAWA ACADEMY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 〒2130012 神奈川県川崎市高津区坂戸3丁目2番1号 Kanagawa 2-1, Sakado 3-chome Takatsu-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2130012, JP (AllExceptUS)
  • 株式会社放電精密加工研究所 HODEN SEIMITSU KAKOKENKYUSHO CO., LTD. [JP/JP]; 〒2430213 神奈川県厚木市飯山3110番地 Kanagawa 3110, Iiyama, Atsugi-shi Kanagawa 2430213, JP (AllExceptUS)
  • 株式会社リコー RICOH COMPANY, LTD. [JP/JP]; 〒1438555 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 Tokyo 3-6, Nakamagome 1-chome Ota-ku, Tokyo 1438555, JP (AllExceptUS)
  • 大津 元一 OHTSU, Motoichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 興梠 元伸 KOUROGI, Motonobu [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 物部 秀二 MONONOBE, Shuji [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 八井 崇 YATSUI, Takashi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 山元 弘治 YAMAMOTO, Koji [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 井口 敏之 INOKUCHI, Toshiyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 高田 将人 TAKADA, Masato [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 大津 元一 OHTSU, Motoichi; JP
  • 興梠 元伸 KOUROGI, Motonobu; JP
  • 物部 秀二 MONONOBE, Shuji; JP
  • 八井 崇 YATSUI, Takashi; JP
  • 山元 弘治 YAMAMOTO, Koji; JP
  • 井口 敏之 INOKUCHI, Toshiyuki; JP
  • 高田 将人 TAKADA, Masato; JP
Mandataires
  • 小池 晃 KOIKE, Akira; 〒1000011 東京都千代田区内幸町一丁目1番7号大和生命ビル11階 Tokyo 11th Floor, Yamato Seimei Bldg. 1-7, Uchisaiwai-cho, 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000011, JP
Données relatives à la priorité
2003-19368008.07.2003JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) PHOTO-DETECTION DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF DE PHOTODETECTION ET PROCEDE CORRESPONDANT
(JA) 光検出装置及び方法
Abrégé
(EN)
By using a single light probe mounted, it is possible to realize both of a wide-range measurement using a normal propagation light and a high-resolution measurement using a near-field light. The light probe (13) has a light shading coat layer (33) formed with an emission opening D or a tip end of a core (31) coated by the light shading coat layer (33). Light emitted to the core (31) is made to propagate and the light probe (13) is moved in the direction for setting the light probe (13) at a near distance with respect to a surface (2a) to be measured, so that a spot based on the propagation light which has propagated through the core (31) or the near-field light coming out of the emission opening D is formed on the surface (2a) to be measured and the light based on the spot is detected.
(FR)
Au moyen d'une unique sonde lumineuse montée, il est possible de réaliser à la fois une mesure sur un large éventail, en utilisant une propagation normale de la lumière, et une mesure à haute résolution, en utilisant une lumière à champ proche. La sonde lumineuse (13) présente une couche enduite abat-jour (13), formée avec un orifice d'émission (D) ou une extrémité d'une âme (31) enduite d'une couche enduite abat-jour (33). La lumière émise vers l'âme (31) est apte à se propager, et la sonde lumineuse (13) est déplacée en direction du réglage de la source lumineuse (13), à une distance voisine, par rapport à une surface (2a) à mesurer, de façon qu'un spot basé sur la lumière de propagation qui s'est propagée à travers l'âme (31) ou la lumière à champ proche sortant de l'orifice d'émission (D), se forme sur la surface (2a) à mesurer, et la lumière basée sur le spot est détectée.
(JA)
 装着された一つの光プローブにより、通常の伝搬光を利用した広範囲測定と近接場光を利用した高分解能測定の双方を実現するため、出射開口Dが設けられるように遮光性被覆層33が形成されてなる光プローブ13、或いは、コア31先端を遮光性被覆層33で被覆した光プローブ13のコア31に出射された光を伝搬させ、被測定面2aに対して光プローブ13を近接離間する方向へ移動させることにより、コア31を伝搬した伝搬光或いは出射開口Dから滲出した近接場光の何れかに基づくスポットを被測定面上2aに形成させ、当該スポットに基づく光を検出する。
Également publié en tant que
US2007018082
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