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Paramétrages

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1. WO2005003711 - CAPTEUR DE PRESSION DU TYPE A QUARTZ, PROCEDE DE PRODUCTION DE CE DERNIER

Numéro de publication WO/2005/003711
Date de publication 13.01.2005
N° de la demande internationale PCT/JP2004/009413
Date du dépôt international 02.07.2004
CIB
G01L 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
CPC
G01L 9/0075
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0072using variations in capacitance
0075using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
Déposants
  • 東洋通信機株式会社 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. [JP/JP]; 〒2128513 神奈川県川崎市幸区塚越三丁目484番地 Kanagawa 484, Tsukagoshi 3-chome, Saiwai-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2128513, JP (AllExceptUS)
  • 渡辺 潤 WATANABE, Jun [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 渡辺 潤 WATANABE, Jun; JP
Mandataires
  • 鈴木 均 SUZUKI, Hitoshi; 〒1640001 東京都中野区中野2−28−1 中野JMビル5階 Tokyo DSK Jouhou Center Bldg. 2nd floor 6-5, Arai 2-chome Nakano-ku, Tokyo 165-0026, JP
Données relatives à la priorité
2003-19106603.07.2003JP
2004-15206321.05.2004JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) QUARTZ TYPE PRESSURE SENSOR, AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION DU TYPE A QUARTZ, PROCEDE DE PRODUCTION DE CE DERNIER
(JA) 水晶式圧力センサ、及びその製造方法
Abrégé
(EN)
A quartz type pressure sensor which can eliminate, by using quartz as the detection piece of a pressure sensor, such defects of a pressure sensor using a silicon detection piece, as the difficulty of controlling the thickness of a diaphragm due to a low etching accuracy and a resultant lower detection accuracy, and a poor repeatability in elastic deformation. The pressure sensor comprises a bottom plate consisting of an insulation material, a lower electrode film and a dielectric film sequentially layered on the surface of the bottom plate, a detection piece provided with a thin-wall portion in a position facing the dielectric film and fixed to the surface of the bottom plate, an upper electrode film formed on at least part of the thin-wall portion and in a positional relation of facing the lower electrode film, and a fine-gap airtight space between the lower surface of the detection piece and the dielectric film, characterized in that the detection piece consists of a quartz material.
(FR)
La présente invention concerne un capteur de pression du type à quartz qui peut éliminer, du fait de l'utilisation de quartz en tant qu'élément de détection d'un capteur de pression, les défauts d'un capteur de pression comprenant un élément de détection au silicium, ainsi que la difficulté de régulation de l'épaisseur d'un diaphragme liée à une faible précision de la gravure et la précision de détection inférieure résultante, ainsi qu'une faible répétition de la déformation élastique. Le capteur de pression comprend une plaque inférieure formée d'un matériau isolant, un film d'électrode inférieure et un film diélectrique disposés séquentiellement en couches sur la surface de la plaque inférieure, un élément de détection prévu avec une partie de paroi mince positionné en face du film diélectrique et fixé sur la surface de la plaque inférieure, un film d'électrode supérieure formé sur au moins une région de la partie à paroi mince et positionné en face du film d'électrode inférieure, ainsi qu'un espace étanche à l'air de faible écartement situé entre la surface inférieure de l'élément de détection et le film diélectrique qui se caractérise en ce que l'élément de détection est constitué d'un matériau quartzeux.
(JA)
 タッチモード容量型圧力センサにおいて、水晶を圧力センサの検出片として利用することにより、シリコン製の検出片を用いた圧力センサの欠点であったエッチング精度が低いことによるダイヤフラムの厚みコントロールの困難化、それによる検出精度の低下、及び弾性変形における繰り返し再現性の悪さ、を夫々解消することができる水晶式圧力センサを提供する。絶縁材料から成る底板と、該底板の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに底板の面上に固定された検出片と、該薄肉部の少なくとも一部に形成され且つ下部電極膜と対向する位置関係にある上部電極膜と、を備え、該検出片の下面と該誘電体膜との間に微小ギャップの気密空間を備えた圧力センサにおいて、前記検出片は、水晶材料から成ることを特徴とする。
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