Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

1. WO2005003192 - SYNTHESE DE POLYMERES PHOTOSENSIBLES

Numéro de publication WO/2005/003192
Date de publication 13.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/020350
Date du dépôt international 25.06.2004
CIB
C08F 2/38 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
08COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES ORGANIQUES; LEUR PRÉPARATION OU LEUR MISE EN UVRE CHIMIQUE; COMPOSITIONS À BASE DE COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES
FCOMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES OBTENUS PAR DES RÉACTIONS FAISANT INTERVENIR UNIQUEMENT DES LIAISONS NON SATURÉES CARBONE-CARBONE
2Procédés de polymérisation
38Polymérisation utilisant des régulateurs, p.ex. des agents d'arrêt de chaîne
C08F 20/30 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
08COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES ORGANIQUES; LEUR PRÉPARATION OU LEUR MISE EN UVRE CHIMIQUE; COMPOSITIONS À BASE DE COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES
FCOMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES OBTENUS PAR DES RÉACTIONS FAISANT INTERVENIR UNIQUEMENT DES LIAISONS NON SATURÉES CARBONE-CARBONE
20Homopolymères ou copolymères de composés contenant un ou plusieurs radicaux aliphatiques non saturés, chaque radical ne contenant qu'une seule liaison double carbone-carbone et un seul étant terminé par un seul radical carboxyle ou un sel, anhydride, ester, amide, imide ou nitrile
02Acides monocarboxyliques contenant moins de dix atomes de carbone; Leurs dérivés
10Esters
26Esters contenant de l'oxygène en plus de l'oxygène de la fonction carboxyle
30contenant des cycles aromatiques dans la partie alcool
C08F 220/18 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
08COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES ORGANIQUES; LEUR PRÉPARATION OU LEUR MISE EN UVRE CHIMIQUE; COMPOSITIONS À BASE DE COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES
FCOMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES OBTENUS PAR DES RÉACTIONS FAISANT INTERVENIR UNIQUEMENT DES LIAISONS NON SATURÉES CARBONE-CARBONE
220Copolymères de composés contenant un ou plusieurs radicaux aliphatiques non saturés, chaque radical ne contenant qu'une seule liaison double carbone-carbone et un seul étant terminé par un seul radical carboxyle ou un sel, anhydride, ester, amide, imide ou nitrile
02Acides monocarboxyliques contenant moins de dix atomes de carbone; Leurs dérivés
10Esters
12des alcools ou des phénols monohydriques
16des phénols ou des alcools contenant plusieurs atomes de carbone
18avec l'acide acrylique ou l'acide méthacrylique
C08F 293/00 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
08COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES ORGANIQUES; LEUR PRÉPARATION OU LEUR MISE EN UVRE CHIMIQUE; COMPOSITIONS À BASE DE COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES
FCOMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES OBTENUS PAR DES RÉACTIONS FAISANT INTERVENIR UNIQUEMENT DES LIAISONS NON SATURÉES CARBONE-CARBONE
293Composés macromoléculaires obtenus par polymérisation sur une macromolécule contenant des groupes capables d'amorcer la formation de nouvelles chaînes polymères rattachées exclusivement à une ou aux deux extrémités de la macromolécule de départ
CPC
C08F 2/38
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
2Processes of polymerisation
38Polymerisation using regulators, e.g. chain terminating agents ; , e.g. telomerisation
C08F 20/30
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
20Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride, ester, amide, imide or nitrile thereof
02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms, Derivatives thereof
10Esters
26Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
30containing aromatic rings in the alcohol moiety
C08F 220/18
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
220Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
10Esters
12of monohydric alcohols or phenols
16of phenols or of alcohols containing two or more carbon atoms
18with acrylic or methacrylic acids
C08F 220/30
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
220Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
10Esters
26Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
30containing aromatic rings in the alcohol moiety
C08F 293/005
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
293Macromolecular compounds obtained by polymerisation on to a macromolecule having groups capable of inducing the formation of new polymer chains bound exclusively at one or both ends of the starting macromolecule
005using free radical "living" or "controlled" polymerisation, e.g. using a complexing agent
G03F 7/0046
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
004Photosensitive materials
0046with perfluoro compounds, e.g. for dry lithography
Déposants
  • SYMYX TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 3100 Central Expressway Santa Clara, CA 95051, US (AllExceptUS)
  • BENOIT, Didier [FR/US]; US (UsOnly)
  • SAFIR, Adam [US/US]; US (UsOnly)
  • CHANG, Han-Ting; US (UsOnly)
  • CHARMOT, Dominique [FR/US]; US (UsOnly)
  • OKAMOTO, Kenji [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • NISHIMURA, Isao [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • WANG, Yong [CN/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • BENOIT, Didier; US
  • SAFIR, Adam; US
  • CHANG, Han-Ting; US
  • CHARMOT, Dominique; US
  • OKAMOTO, Kenji; JP
  • NISHIMURA, Isao; JP
  • WANG, Yong; JP
Mandataires
  • ROTHENBERGER, Scott, D. ; Dorsey & Whitney LLP Intellectual Property Department Suite 1500 50 South Sixth Street Minneapolis, MN 55402-1498, US
Données relatives à la priorité
60/483,19026.06.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYNTHESIS OF PHOTORESIST POLYMERS
(FR) SYNTHESE DE POLYMERES PHOTOSENSIBLES
Abrégé
(EN)
The present invention is directed to the preparation of photoresist polymers via living free radical polymerization techniques. Sterically bulky ester monomers are utilized as the polymerization components. Use of chain transfer agents is included in polymerization processing conditions. Cleavage of polymer terminal end groups that include a heteroatom are described.
(FR)
L'invention concerne la préparation de polymères photosensibles par la mise en oeuvre de techniques de polymérisation de radicaux libres vivants. On utilise comme composants de polymérisation des monomères esters encombrés stériquement. L'utilisation d'agents de transfert de chaîne est également prévue dans les conditions de traitement par polymérisation. L'invention concerne également le clivage de groupes terminaux polymères contenant un hétéroatome.
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international