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Paramétrages

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1. WO2005001947 - SUPRACONDUCTEURS, PROCEDES ET REACTEURS ASSOCIES

Numéro de publication WO/2005/001947
Date de publication 06.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/017138
Date du dépôt international 02.06.2004
CIB
H01L 39/24 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
39Dispositifs utilisant la supraconductivité ou l'hyperconductivité; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
24Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement des dispositifs couverts par H01L39/134
CPC
H01L 39/2451
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
39Devices using superconductivity; Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
24Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of devices provided for in H01L39/00 or of parts thereof
2419the superconducting material comprising copper oxide
2422Processes for depositing or forming superconductor layers
2451Precursor deposition followed by after-treatment, e.g. oxidation
Déposants
  • AMERICAN SUPERCONDUCTOR CORPORATION [US/US]; Two Technology Drive Westborough, MA 01581-1727, US (AllExceptUS)
  • RUPICH, Martin, W. [US/US]; US (UsOnly)
  • VEREBELYI, Darren [US/US]; US (UsOnly)
  • LI, Xiaoping [CN/US]; US (UsOnly)
  • ZHANG, Wei [CN/US]; US (UsOnly)
  • SCHOOP, Urs-Detlev [DE/US]; US (UsOnly)
  • LYNCH, Joseph [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • RUPICH, Martin, W.; US
  • VEREBELYI, Darren; US
  • LI, Xiaoping; US
  • ZHANG, Wei; US
  • SCHOOP, Urs-Detlev; US
  • LYNCH, Joseph; US
Mandataires
  • OCCHIUTI, Frank, R.; Fish & Richardson P.C. 225 Franklin Street Boston, MA 02110-2804, US
Données relatives à la priorité
60/477,61310.06.2003US
null01.06.2004US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHODS OF AND REACTORS FOR MAKING SUPERCONDUCTORS
(FR) SUPRACONDUCTEURS, PROCEDES ET REACTEURS ASSOCIES
Abrégé
(EN)
A method of growing an oxide film, comprising: impinging a reactant gas mixture (60, 70) on a surface of a film (120) of an intermediate oxide material; and removing at least a portion of a product gas from a region adjacent (80) to the surface of the film (120), wherein the reactant gas mixture (60, 70) impinges on the surface of the film (120) at an angle that is at least about 5° relative to the surface of the film (120), the film is in a portion (150, 160, 170) of a reactor (1009 that has a total pressure of at most about 700 Torr, and the oxide is selected from the group consisting of a buffer material and a superconductor material.
(FR)
L'invention concerne des réacteurs pour supraconducteurs, ainsi que des procédés et des systèmes associés.
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international