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Paramétrages

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1. WO2005001890 - BOITE DE PLAQUETTES COMPOSTANT DES ELEMENTS DE VERROUILLAGE A PIVOTEMENT RADIAL

Numéro de publication WO/2005/001890
Date de publication 06.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/014659
Date du dépôt international 11.05.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 10.01.2005
CIB
H01L 21/673 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
CPC
H01L 21/67369
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67369characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
H01L 21/67373
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67373characterised by locking systems
Déposants
  • ILLINOIS TOOL WORKS INC. [US/US]; 3600 West Lake Avenue Glenview, IL 60025, US (AllExceptUS)
  • FORSYTH, Valoris, L. [US/US]; US (UsOnly)
  • GARDINER, Jim [US/US]; US (UsOnly)
  • BROWN, Berry [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • FORSYTH, Valoris, L.; US
  • GARDINER, Jim; US
  • BROWN, Berry; US
Mandataires
  • LEVY, Gerald ; Pitney Hardin LLP 7 Times Square New-york, NY 10036-7311, US
Données relatives à la priorité
10/787,48925.02.2004US
60/479,08617.06.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) WAFER BOX WITH RADIALLY PIVOTING LATCH ELEMENTS
(FR) BOITE DE PLAQUETTES COMPOSTANT DES ELEMENTS DE VERROUILLAGE A PIVOTEMENT RADIAL
Abrégé
(EN)
The semiconductor wafer containment device or wafer box includes a base (10) with a planar floor (12) and a double concentric cylindrical wall structure (22, 24) arising therefrom. The double concentric cylindrical wall structure includes slots (26, 28) through which latch elements (44, 46) pivot radially. The latch elements include an inward padded spacer element (52, 53). The latch elements pivot between an outward position wherein the padded spacer elements are relatively away from the wafer containment space and an inward upright position wherein the padded spacer elements impinge into the wafer containment space and are urged against the semiconductor wafers therein. Ramps (77, 79) on the lid (70) capture the latch elements in the outward position and urge the latch elements to pivot to the inward upright position and be detent engaged in this position by slots (76, 78) formed on the lid.
(FR)
La présente invention a trait à un dispositif destiné à contenir des plaquettes semi-conductrices ou boîte de plaquettes comportant un fond avec une base plan et une double structure de parois cylindriques concentriques s'élevant à partir de celle-ci. La double structure de parois cylindriques concentriques comporte des fentes à travers desquelles des éléments de verrouillage réalisent un pivotement radial. Les éléments de verrouillage comprennent un élément d'espacement matelassé vers l'intérieur. Les éléments de verrouillage pivotent entre une position vers l'extérieur dans laquelle les éléments d'espacement matelassés sont relativement éloignés de l'espace renfermant les plaquettes et une position verticale vers l'intérieur dans laquelle les éléments d'espacement matelassés pénètrent l'espace renfermant les plaquettes et viennent en contact avec les plaquettes semi-conductrices qui y sont logées. Des rampes sur le couvercle emprisonnent les éléments de verrouillage dans la position orientée vers l'extérieur et sollicitent les éléments de verrouillage à pivoter vers la position verticale vers l'intérieur en vue de leur engagement cranté dans cette position par des fentes formées sur le couvercle.
Également publié en tant que
US2006180499
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