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Paramétrages

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1. WO2005001774 - PROCEDES ET DISPOSITIFS POUR REDUIRE L'ERREUR DANS DES MESURES D'IMAGERIE INTERFEROMETRIQUE

Numéro de publication WO/2005/001774
Date de publication 06.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/019547
Date du dépôt international 18.06.2004
CIB
G01B 11/25 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
25en projetant un motif, p.ex. des franges de moiré, sur l'objet
G01D 5/38 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
DMESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉE À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; DISPOSITIONS NON COUVERTES PAR UNE SEULE DES AUTRES SOUS-CLASSES POUR MESURER PLUSIEURS VARIABLES; APPAREILS COMPTEURS À TARIFS; DISPOSITIONS POUR LE TRANSFERT OU LA TRANSDUCTION DE MESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉES À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; MESURES OU TESTS NON PRÉVUS AILLEURS
5Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière
26utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette
32avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux
34les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques
36formant la lumière en impulsions
38par réseaux de diffraction
CPC
G01B 11/254
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
254Projection of a pattern, viewing through a pattern, e.g. moiré
G01D 5/38
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
5Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
26characterised by optical transfer means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
32with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
34the beams of light being detected by photocells
36Forming the light into pulses
38by diffraction gratings
Déposants
  • DIMENSIONAL PHOTONICS [US/US]; 153 Northboro Road Southborough, MA 01772, US (AllExceptUS)
  • SWANSON, Gary, J. [US/US]; US (UsOnly)
  • SHIRLEY, Lyle [US/US]; US (UsOnly)
  • HUBBARD, Bill [US/US]; US (UsOnly)
  • ABBE, Robert [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • SWANSON, Gary, J.; US
  • SHIRLEY, Lyle; US
  • HUBBARD, Bill; US
  • ABBE, Robert; US
Mandataires
  • GUERIN, William G.; Guerin & Rodriguez, LLP 5 Mount Royal Avenue Marlborough, MA 01752, US
Données relatives à la priorité
60/479,53418.06.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHODS AND APPARATUS FOR REDUCING ERROR IN INTERFEROMETRIC IMAGING MEASUREMENTS
(FR) PROCEDES ET DISPOSITIFS POUR REDUIRE L'ERREUR DANS DES MESURES D'IMAGERIE INTERFEROMETRIQUE
Abrégé
(EN)
The present invention provides a method and apparatus for reducing error in interferometric fringe stability and reproducibility in an interference fringe generator. In one aspect, the method for reducing error in interferometric fringe stability and reproducibility includes providing a light source, positioning a grating to receive light from the light source and positioning a projection lens having a focal length F to receive light from the grating. The projection lens projects the received light upon an object of interest positioned substantially at a distance d1 from the lens. Typically the lens is positioned substantially at a distance d2 from the grating. The values of d1, d2, and F are related by d2 being approximately equal to d1F/(d1-F).
(FR)
La présente invention concerne un procédé et un dispositif pour réduire l'erreur dans la stabilité de frange interférométrique et la reproductibilité dans un générateur de franges à interférence. Dans un aspect de l'invention, le procédé pour réduire l'erreur dans la stabilité de frange interférométrique et la reproductibilité, comprend la mise à disposition d'une source de lumière, le positionnement d'un réseau de sorte qu'il reçoit la lumière issue de la source de lumière et le positionnement d'une lentille de projection ayant une distance focale F, de sorte qu'elle reçoit la lumière issue du réseau. La lentille de projection projette la lumière reçue sur un objet d'intérêt disposé sensiblement à une distance d1 de la lentille. En général, la lentille est disposée sensiblement à une distance d2 du réseau. Les valeurs de d1, d2, et F sont liées par la relation selon laquelle d2 est environ égale à d1F/(d1-F).
Également publié en tant que
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