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Paramétrages

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1. WO2005001523 - ESTIMATION DE BANDE PASSANTE AMELIOREE

Numéro de publication WO/2005/001523
Date de publication 06.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/018944
Date du dépôt international 14.06.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 19.01.2005
CIB
G01B 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02Interféromètres
CPC
G01J 3/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
G01J 3/0205
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
G01J 3/027
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
027Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
G01J 3/28
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
G01J 3/45
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
45Interferometric spectrometry
Déposants
  • CYMER, INC. [US/US]; (a Nevada corporation) 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127-2413, US (AllExceptUS)
  • RAFAC, Robert, J. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • RAFAC, Robert, J.; US
Mandataires
  • CRAY, William, C.; Cymer, Inc. Legal Department MS/4-2C 17075 Thommint Court San Diego , CA 92127-2413, US
Données relatives à la priorité
10/609,22326.06.2003US
10/615,32107.07.2003US
10/789,32827.02.2004US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) IMPROVED BANDWIDTH ESTIMATION
(FR) ESTIMATION DE BANDE PASSANTE AMELIOREE
Abrégé
(EN)
A bandwidth meter method and apparatus for measuring the bandwidth of a spectrum of light emitted from a laser input to the bandwidth meter which provides a first and second output representing, respectively, a first and second parameter indicative of the bandwidth The wavelength calculation utilizes the first and second parameters as part of a multivariate equation employing predetermined calibration variables specific to the optical bandwidth monitor
(FR)
La présente invention concerne un procédé et un dispositif de mesure de bande passante, qui servent à mesurer la bande passante d'un spectre de lumière émise par une entrée laser qui alimente le dispositif de mesure de bande passante. Ledit dispositif peut comprendre un système de surveillance optique de bande passante qui fournit une première sortie représentative d'un premier paramètre qui indique la bande passante de la lumière émise par le laser et une seconde sortie représentative d'un second paramètre qui indique la bande passante de la lumière émise par le laser; et un système de calcul de bande passante réelle qui se sert de la première sortie et de la seconde sortie dans une équation à variables multiples faisant intervenir des variables de calibrage prédéterminées spécifiques du système de surveillance optique de bande passante, pour calculer un paramètre de bande passante réelle. Le paramètre de bande passante réelle peut comprendre toute la largeur de spectre à un certain pourcentage du maximum à l'intérieur de la bande passante complète du spectre de la lumière émise par le laser ('FWXM') ou une certaine largeur entre deux points situés dans le spectre englobant un certain pourcentage de l'énergie du spectre complet de la lumière émise par le laser ('EX'). Le système de surveillance de bande passante peut comprendre un étalon, et la première sortie est représentative d'au moins une largeur d'une frange d'une sortie optique de l'étalon au niveau de FWXM ou d'une largeur située entre deux points du spectre englobant un certain pourcentage de l'énergie du spectre complet de la lumière émise par le laser ('EX'') et la seconde sortie est représentative d'au moins un second FWX'M ou EX'', où X≠XX et X'≠X''. Les variables de calibrage pré-calculées peuvent être dérivées de la mesure de la valeur du paramètre de bande passante réelle, au moyen d'une norme fiable, mise en corrélation avec l'occurrence de la première et de la seconde sortie pour un spectre de calibrage. La valeur du paramètre de bande passante réelle est calculée à partir de l'équation suivante: paramètre de bande passante réelle estimée = K*wl + L*w2 + M. Dans cette équation, wl représente la première sortie mesurée représentative de FWXM ou EX' et w2 représente la seconde sortie mesurée représentative de FWX'M ou EX''. Le procédé et le dispositif peuvent être utilisés dans une source de lumière de lithographie laser et/ou dans un outil de lithographie de circuit intégré.
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