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Paramétrages

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1. WO2005001157 - DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT DE SUBSTRATS EN ROULEAU SOUS VIDE

Numéro de publication WO/2005/001157
Date de publication 06.01.2005
N° de la demande internationale PCT/LV2004/000004
Date du dépôt international 29.06.2004
CIB
C23C 14/56 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
56Appareillage spécialement adapté au revêtement en continu; Dispositifs pour maintenir le vide, p.ex. fermeture étanche
CPC
C23C 14/562
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
562for coating elongated substrates
H05K 1/0393
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
1Printed circuits
02Details
03Use of materials for the substrate
0393Flexible materials
H05K 2203/1545
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
2203Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
15Position of the PCB during processing
1545Continuous processing, i.e. involving rolls moving a band-like or solid carrier along a continuous production path
H05K 3/146
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
3Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
10in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
14using spraying techniques to apply the conductive material ; , e.g. vapour evaporation
146By vapour deposition
Déposants
  • SIDRABE, INC. [LV/LV]; 17 Krustpils str. LV-1073 Riga, LV (AllExceptUS)
  • YADIN, Edgars [LV/LV]; LV (UsOnly)
  • PIPKEVICS, Grigorijs [LV/LV]; LV (UsOnly)
Inventeurs
  • YADIN, Edgars; LV
  • PIPKEVICS, Grigorijs; LV
Mandataires
  • VERIGINS, Vitalijs; 17 Krustpils str. LV-1073 Riga, LV
Données relatives à la priorité
P-03-7430.06.2003LV
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) DEVICE AND METHOD FOR COATING ROLL SUBSTRATES IN VACUUM
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT DE SUBSTRATS EN ROULEAU SOUS VIDE
Abrégé
(EN)
The invention relates to coating roll substrates in vacuum, particularly to the deposition processes, which are associated with depositing significant amounts of metals or other materials, causing significant thermal loads on the substrate. Nonmetallic roll materials, polymeric films or thin metal foils can be used as substrate. According to the invention the roll vacuum coating device is equipped with a means (7, 8, 9) of hold-down the substrate lateral edges to the supporting surface of the drum (3) and its transverse spreading during the deposition process. The said means of hold-down the substrate lateral edges to the supporting surface of the drum and its transverse spreading can be made as laces of elastic material (7) of special asymmetrical profile, rewound together with the substrate. In other embodiments the means of hold-down the substrate lateral edges to the supporting surface of the drum and its transverse spreading can be made as elastic laces rewound together with the substrate at angle to the drum rotation plane, as an assemblage of pressure rollers mounted at angle to the drum plane, or as disks of equal diameter with the drum, mounted on the drum end faces on trunnion balls, coaxial with the drum. Operating efficiency of the offered method and devices is proved by the experiments, when comparatively thick metal coatings were successfully deposited onto thin polymeric films.
(FR)
La présente invention a trait au revêtement de substrats en rouleau sous vide, notamment à des procédés de dépôt, qui sont associés au dépôt d'importantes quantités de métaux ou autres matériaux, provoquant des charges thermiques considérables sur le substrat. Des matériaux en rouleau non métalliques, des films polymères ou des feuilles métalliques minces peuvent être utilisés en tant que substrat. Selon l'invention, le dispositif de revêtement sous vide au rouleau est muni d'un moyen de maintien à plat des bords latéraux du substrat à la surface de support du tambour et son étalement transversal lors du traitement de dépôt. Ledit moyen de maintien à plat des bords latéraux du substrat à la surface de support du tambour et son étalement transversal peut être réalisé sous forme de lacets de matière élastique à profil asymétrique spécial, enroulés intégralement avec le substrat. Dans d'autres modes de réalisation, le moyen de maintien à plat des bords latéraux du substrat à la surface de support du tambour et son étalement transversal peut être réalisé sous forme de lacets enroulés intégralement avec le substrat en inclinaison par rapport au plan de rotation du tambour, sous la forme d'un ensemble de rouleaux de pression montés en inclinaison par rapport au plan du tambour, ou sous la forme de disques de diamètre identique avec le tambour, montés sur les faces d'extrémité du tambour sur des billes de tourillon, coaxiaux au tambour. L'efficacité de fonctionnement du procédé de l'invention et des dispositifs à été démontrée par des expériences, lors du dépôt réussi de revêtements métalliques relativement épais sur des films polymères minces.
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