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1. WO2004097910 - COMMUTATEURS ELECTROMECANIQUES MULTI-STABLES ET PROCEDES DE FABRICATION DE CES COMMUTATEURS

Numéro de publication WO/2004/097910
Date de publication 11.11.2004
N° de la demande internationale PCT/US2004/011737
Date du dépôt international 16.04.2004
CIB
H01H 59/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
HINTERRUPTEURS ÉLECTRIQUES; RELAIS; SÉLECTEURS; DISPOSITIFS DE PROTECTION
59Relais électrostatiques; Relais à électro-adhésion
CPC
B81B 2201/018
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
01Switches
012characterised by the shape
018Switches not provided for in B81B2201/014 - B81B2201/016
B81B 2203/051
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
05Type of movement
051Translation according to an axis parallel to the substrate
B81B 3/0054
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0035Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
0054For holding or placing an element in a given position
H01H 2001/0042
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] ;
0042Bistable switches, i.e. having two stable positions requiring only actuating energy for switching between them, e.g. with snap membrane or by permanent magnet
H01H 2001/0078
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] ;
0078with parallel movement of the movable contact relative to the substrate
H01H 59/0009
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
59Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
0009making use of micromechanics
Déposants
  • MEDTRONIC, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • RECEVEUR, Rogier [NL]/[NL] (UsOnly)
  • HABETS, Philippe [NL]/[NL] (UsOnly)
  • DANZL, Ralph, B. [US]/[US] (UsOnly)
  • HOUBEN, Richard, P. M. [BE]/[BE] (UsOnly)
  • MATTES, Michael, F. [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • RECEVEUR, Rogier
  • HABETS, Philippe
  • DANZL, Ralph, B.
  • HOUBEN, Richard, P. M.
  • MATTES, Michael, F.
Mandataires
  • SOLDNER, Michael,
Données relatives à la priorité
10/425,86129.04.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MULTI-STABLE MICRO ELECTROMECHANICAL SWITCHES AND METHODS OF FABRICATING SAME
(FR) COMMUTATEURS ELECTROMECANIQUES MULTI-STABLES ET PROCEDES DE FABRICATION DE CES COMMUTATEURS
Abrégé
(EN)
A micro electromechanical (MEMS) switch suitable for use in medical devices is provided, along with methods of producing and using MEMS switches. In one aspect, a micro electromechanical switch including a moveable member configured to electrically cooperate with a receiving terminal is formed on a substrate. The moveable member and the receiving terminal each include an insulating layer proximate to the substrate and a conducting layer proximate to the insulating layer opposite the substrate. In various embodiments, the conducting layers of the moveable member and/or receiving terminal include a protruding region that extends outward from the substrate to switchably couple the conducting layers of the moveable member and the receiving terminal to thereby form a switch. The switch may be actuated using, for example, electrostatic energy.
(FR)
La présente invention concerne un commutateur micro-électromécanique (MEMS) conçu pour être utilisé dans des dispositifs médicaux, ainsi que des procédés de production et d'utilisation de commutateurs MEMS. Dans un mode de réalisation de l'invention, un commutateur micro-électromécanique comportant un élément mobile conçu pour coopérer électriquement avec une borne réceptrice est formé sur un substrat. L'élément mobile et la borne réceptrice comportent chacun une couche isolante à proximité du substrat et une couche conductrice à proximité de la couche isolante à l'opposé du substrat. Dans divers modes de réalisation, les couches conductrices de l'élément mobile et/ou de la borne réceptrice comportent une région en saillie qui s'étend vers l'extérieur du substrat pour coupler de manière commutable les couches conductrices de l'élément mobile et la borne réceptrice afin de former un commutateur. Ce commutateur peut être actionné au moyen, par exemple, d'une énergie électrostatique.
Également publié en tant que
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