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1. WO2004097899 - MECANISME DE PIVOTEMENT POUR SUPPORT DE TRANCHE

Numéro de publication WO/2004/097899
Date de publication 11.11.2004
N° de la demande internationale PCT/US2004/012879
Date du dépôt international 27.04.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 27.08.2004
CIB
B24B 37/04 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
37Machines ou dispositifs de rodage; Accessoires
04conçus pour travailler les surfaces planes
CPC
B24B 37/30
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
37Lapping machines or devices; Accessories
27Work carriers
30for single side lapping of plane surfaces
Déposants
  • STRASBAUGH [US]/[US]
Inventeurs
  • WALSH, Thomas, A.
  • KALENIAN, William, J.
Mandataires
  • CROCKETT, David, K.
Données relatives à la priorité
10/425,89628.04.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) WAFER CARRIER PIVOT MECHANISM
(FR) MECANISME DE PIVOTEMENT POUR SUPPORT DE TRANCHE
Abrégé
(EN)
A pivoting wafer carrier having a minimum of internal friction and a smooth, continuous pivoting motion. The pivot mechanism includes a lower ring mounted on a pressure plate, an upper ring mounted on a housing upper plate and ball transfer units disposed on the lower ring. Corresponding bearing wedges depend downwardly from the upper ring. As the pressure plate tilts during the polishing process, the load balls of the ball transfer units roll against the corresponding wedges, thus producing a smooth, continuous pivoting motion. A universal joint may be provided to the carrier to effect the rotation of the carrier and to aid the smooth, continuous pivoting motion of the wafer carrier.
(FR)
L'invention concerne un support de tranche pivotant qui produit un minimum de frottement interne et un mouvement de pivotement continu sans à-coups. Le mécanisme de pivotement comprend un anneau inférieur monté sur une plaque d'appui, un anneau supérieur monté sur une plaque supérieure de corps et des unités de transfert à billes placées sur l'anneau inférieur. Des cales de coussinet correspondantes se déploient vers le bas depuis l'anneau supérieur. A mesure que la plaque d'appui est inclinée pendant le processus de polissage, les billes de charge des unités de transfert à billes roulent contre les cales correspondantes, ce qui produit un mouvement de pivotement continu sans à-coups. Un joint universel peut être installé sur le support pour permettre une rotation de celui-ci et faciliter le mouvement de pivotement continu sans à-coups du support de tranche.
Également publié en tant que
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