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1. (WO2004097430) MULTI-CAPTEUR MICRO-USINE FOURNISSANT 2-AXES DE CAPTEURS D'ACCELERATION ET 1-AXE DE CAPTEURS DE VITESSE ANGULAIRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/097430    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/012900
Date de publication : 11.11.2004 Date de dépôt international : 27.04.2004
CIB :
G01C 19/56 (2006.01), G01P 15/00 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01)
Déposants : ANALOG DEVICES, INC. [US/US]; P.O. Box 9106, One Technology Way, Norwood, MA 02062 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : GEEN, John, A.; (US)
Mandataire : LEBOVICI, Victor, B.; Weingarten, Schurgin, Gagnebin & Lebovici, LLP, Ten Post Office Square, Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
60/466,126 28.04.2003 US
10/462,541 16.06.2003 US
Titre (EN) MICRO-MACHINED MULTI-SENSOR PROVIDING 2-AXES OF ACCELERATION SENSING AND 1-AXIS OF ANGULAR RATE SENSING
(FR) MULTI-CAPTEUR MICRO-USINE FOURNISSANT 2-AXES DE CAPTEURS D'ACCELERATION ET 1-AXE DE CAPTEURS DE VITESSE ANGULAIRE
Abrégé : front page image
(EN)A micro-machined multi-sensor (300) that provides two axes of acceleration sensing and one axis of angular rate sensing. The multi-sensor includes a rigid accelerometer frame (330), a first proof mass (332) and a second proof mass (334). The substrate has two associated acceleration axes (Y, X) in the plane of the substrate and one associated rotation axis (Z) perpendicular to the acceleration axes. The proof masses have a common vibration axis (x), which is perpendicular to the rotation axis (Z). The multi-sensor further includes a drive electrode structure (246.1-246.2, 248.1-248.2) for causing the proof masses to vibrate in antiphase, a first pair of acceleration sense electrode structures (A, B) disposed along one of the acceleration axes, and a second pair of acceleration sense electrode structures (C, D) disposed along the other acceleration axis. The multi-sensor adds (314, 318) the sense signals provided by the respective sense electrode pairs to extract information pertaining to acceleration sensing along the acceleration axes, and (adds322) the differences (316, 320) of the sense signals provided by the respective sense electrode pairs to extract information pertaining to angular rate sensing relative to the rotation axis.
(FR)L'invention concerne un multi-capteur qui fournit 2-axes de capteurs d'accélération et 1-axe de capteurs de vitesse angulaire. Le multi-capteur comporte un châssis d'accéléromètre rigide, une première et une seconde masses épreuves. Le substrat présente, dans son plan, deux axes d'accélération associés, et un axe de rotation associé perpendiculaire aux axes d'accélération. Les masses épreuves ont un axe de vibration commun, qui est perpendiculaire à l'axe de rotation. Le multi-capteur comporte en outre une structure d'électrode de commande qui amène les masses épreuves à vibrer en antiphase, une première paire de structures d'électrodes de capteurs d'accélération montée le long d'un des axes d'accélération, et une seconde paire de structures d'électrodes de capteurs d'accélération disposée le long de l'autre axe d'accélération. Le multi-capteur ajoute des signaux de capteurs produits par les paires d'électrodes de capteurs correspondantes pour extraire des informations relatives aux capteurs d'accélération le long des axes d'accélération ; il ajoute également les différences des signaux de capteurs produits par les paires d'électrodes de capteurs correspondantes pour extraire des informations relatives aux capteurs de vitesse angulaire par rapport à l'axe de rotation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)