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1. WO2004095545 - SUPPORT DE PLAQUETTES PRESENTANT DES CARACTERISTIQUES DE TRAITEMENT AMELIOREES

Numéro de publication WO/2004/095545
Date de publication 04.11.2004
N° de la demande internationale PCT/US2004/006847
Date du dépôt international 05.03.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 06.10.2004
CIB
H01L 21/673 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
CPC
H01L 21/67326
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
67326Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
Déposants
  • SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • BUCKLEY, Richard, F. [US]/[US] (UsOnly)
  • HAERLE, Andrew, G. [US]/[US] (UsOnly)
  • CHANG, Han, C. [US]/[--] (UsOnly)
Inventeurs
  • BUCKLEY, Richard, F.
  • HAERLE, Andrew, G.
  • CHANG, Han, C.
Mandataires
  • BUJOLD, Michael, J.
Données relatives à la priorité
10/402,91528.03.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) WAFER CARRIER HAVING IMPROVED PROCESSING CHARACTERISTICS
(FR) SUPPORT DE PLAQUETTES PRESENTANT DES CARACTERISTIQUES DE TRAITEMENT AMELIOREES
Abrégé
(EN)
A wafer carrier for supporting a plurality of wafers, including a plurality of slots provided in a cradle, the cradle being formed of silicon carbide and having an oxide layer overlying the silicon carbide.
(FR)
L'invention concerne un support de plaquettes destiné à supporter une pluralité de plaquettes, lequel support présente une pluralité de rainures formées dans un berceau, ce berceau étant constitué de carbure de silicium recouvert d'une couche d'oxyde.
Également publié en tant que
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