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1. WO2004072333 - APPAREIL ET PROCEDE DE FABRICATION D'UNE TIGE MONOCRISTALLINE

Numéro de publication WO/2004/072333
Date de publication 26.08.2004
N° de la demande internationale PCT/DK2004/000087
Date du dépôt international 06.02.2004
CIB
C30B 13/00 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
30CROISSANCE DES CRISTAUX
BCROISSANCE DES MONOCRISTAUX; SOLIDIFICATION UNIDIRECTIONNELLE DES MATÉRIAUX EUTECTIQUES OU DÉMIXTION UNIDIRECTION- NELLE DES MATÉRIAUX EUTECTOÏDES; AFFINAGE DES MATÉRIAUX PAR FUSION DE ZONE; PRODUCTION DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; MONOCRISTAUX OU MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; POST-TRAITEMENT DE MONOCRISTAUX OU DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; APPAREILLAGES À CET EFFET
13Croissance des monocristaux par fusion de zone; Affinage par fusion de zone
C30B 13/32 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
30CROISSANCE DES CRISTAUX
BCROISSANCE DES MONOCRISTAUX; SOLIDIFICATION UNIDIRECTIONNELLE DES MATÉRIAUX EUTECTIQUES OU DÉMIXTION UNIDIRECTION- NELLE DES MATÉRIAUX EUTECTOÏDES; AFFINAGE DES MATÉRIAUX PAR FUSION DE ZONE; PRODUCTION DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; MONOCRISTAUX OU MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; POST-TRAITEMENT DE MONOCRISTAUX OU DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; APPAREILLAGES À CET EFFET
13Croissance des monocristaux par fusion de zone; Affinage par fusion de zone
32Mécanismes pour déplacer soit la charge, soit le dispositif de chauffage
CPC
C30B 13/32
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL-GROWTH
13Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
32Mechanisms for moving either the charge or the heater
C30B 29/06
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL-GROWTH
29Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
02Elements
06Silicon
Y10T 117/1056
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
117Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
10Apparatus
1024for crystallization from liquid or supercritical state
1032Seed pulling
1056including details of precursor replenishment
Déposants
  • TOPSIL SEMICONDUCTOR MATERIALS A/S [DK]/[DK] (AllExceptUS)
  • JENSEN, Leif [DK]/[DK] (UsOnly)
  • PETERSEN, Jan, Eyving [DK]/[DK] (UsOnly)
  • VÅBENGÅRD, Per [DK]/[DK] (UsOnly)
Inventeurs
  • JENSEN, Leif
  • PETERSEN, Jan, Eyving
  • VÅBENGÅRD, Per
Mandataires
  • ZACCO DENMARK A/S
Données relatives à la priorité
PA 2003 0019311.02.2003DK
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) AN APPARATUS FOR AND A METHOD OF MANUFACTURING A SINGLE CRYSTAL ROD
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE FABRICATION D'UNE TIGE MONOCRISTALLINE
Abrégé
(EN) An apparatus (1) is provided for manufacturing a single crystal rod (2) from a poly crystal feed rod (3), said apparatus (1) comprising a closed chamber (4), at which chamber (4) the feed rod (3) is located, said chamber (4) comprising an annular energy supply (5) arranged around the feed rod (3) for melting off the one end (23) of the rod for providing single crystals, said apparatus comprising first moving means (6) for axial movement of the feed rod (3) and second moving means (7) for a rotating relative movement between the feed rod (3) and the annular energy supply (5). The apparatus (1) comprises a monitoring system (8) for recording the distance between the surface (9) of the feed rod (3), and an annular inwardly radially facing reference face associated with the energy supply (5), and third moving means (10) for regulating the distance. Hereby an apparatus and a method are accomplished that enable use of irregular feed rods that assume other shapes than the optimal cylindrical shape and also enable use of curved cylindrical an elliptical rods with irregular surface.
(FR) L'invention concerne un appareil (1) conçu pour fabriquer une tige monocristalline (2) à partir d'une tige d'alimentation polycristalline (3). Ledit appareil (1) comprend une chambre fermée (4) où se trouve la tige d'alimentation (3). Ladite chambre (4) comprend une alimentation en énergie (5) annulaire entourant la tige d'alimentation (3) destinée à faire fondre une extrémité (23) de la tige pour produire des monocristaux. Ledit appareil comprend un premier moyen (6) de déplacement assurant le mouvement axial de la tige d'alimentation et un deuxième moyen (7) de déplacement assurant un mouvement relatif tournant entre la tige d'alimentation (3) et l'alimentation en énergie (5) annulaire. Ledit appareil (1) comprend un système de surveillance (8) qui enregistre la distance entre la surface (9) de la tige d'alimentation (3), et une face de référence annulaire regardant dans le sens radial à l'intérieur associée à l'alimentation en énergie (5), et un troisième moyen (10) de déplacement qui régule la distance. L'invention concerne un appareil et un procédé qui permettent d'utiliser des tiges d'alimentation irrégulières qui ont des formes autres que la forme cylindrique optimale, et des tiges elliptiques et cylindriques courbes dont les surfaces sont irrégulières.
Documents de brevet associés
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