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1. WO2004068071 - DISPOSITIF SERVANT A DETERMINER LE PROFIL DE RUGOSITE D'UN OBJET

Numéro de publication WO/2004/068071
Date de publication 12.08.2004
N° de la demande internationale PCT/EP2004/000696
Date du dépôt international 27.01.2004
CIB
G01B 11/24 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
G01B 11/30 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
30pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
CPC
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 11/306
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
306for measuring evenness
Déposants
  • HENTZE-LISSOTSCHENKO PATENTVERWALTUNGS GMBH & CO. KG [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • DARSHT, Maxim [RU]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • DARSHT, Maxim
Mandataires
  • GRAEFE, Jörg
Données relatives à la priorité
103 03 364.529.01.2003DE
Langue de publication Allemand (de)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DES HÖHENPROFILS EINES OBJEKTS
(EN) APPARATUS FOR DETERMINING THE VERTICAL PROFILE OF AN OBJECT
(FR) DISPOSITIF SERVANT A DETERMINER LE PROFIL DE RUGOSITE D'UN OBJET
Abrégé
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung des Höhenprofils eines Objekts (2), umfassend mindestens eine Lichtquelle (1) zur Erzeugung von Licht (8a), wobei mindestens ein Teilstrahl (8e, 8g) des Lichts (8a) auf eine zu untersuchende Oberfläche des Objekts (2) auftreffen und von dieser zumindest teilweise reflektiert werden kann, Erfassungsmittel (3), die sowohl den mindestens einen von der zu untersuchenden Oberfläche reflektierten Teilstrahl als auch mindestens einen weiteren als Referenzstrahl dienenden Teilstrahl des Lichts (8a) erfassen können, wobei aus der Interferenz zwischen reflektiertem Teilstrahl und Referenzstrahl Informationen über das Höhenprofil der zu untersuchenden Oberfläche des Objekts (2) gewonnen werden können, wobei der mindestens eine Teilstrahl (8e, 8g) auf die zu untersuchende Oberfläche des Objekts (2) unter einem Winkel von etwa 5° bis 90° zur Normalen auf der Oberfläche auftrifft.
(EN) The invention relates to an apparatus for determining the vertical profile of an object (2). Said apparatus comprises at least one light source (1) for generating light (8a), at least one partial beam (8e, 8g) of the light (8a) impinging a surface of the object (2), which is to be analyzed, and being reflected at least in part by said surface. The inventive apparatus further comprises detection means (3) which can detect both the at least one partial beam reflected by the surface that is to be analyzed and at least one additional partial beam of the light (8a), said additional partial beam being used as a reference beam. Data about the vertical profile of the surface of the object (2), which is to be analyzed, can be obtained from the interference between the reflected partial beam and the reference beam, the at least one partial beam (8e, 8g) impinging the surface of the object (2), which is to be analyzed, at an angle of about 5° to 90° relative to the normal.
(FR) L'invention concerne un dispositif servant à déterminer le profil de rugosité d'un objet (2). Ce dispositif comprend : au moins une source lumineuse (1) destinée à générer une lumière (8a), au moins un faisceau partiel (8e, 8g) de cette lumière (8a) rencontrant une surface de l'objet (2) à examiner et étant au moins partiellement réfléchi par cette surface ; des moyens de détection (3) pouvant détecter non seulement le(s) faisceau(x) partiel(s) réfléchi(s) par la surface à examiner, mais aussi au moins un autre faisceau partiel de ladite lumière (8a), qui sert de faisceau de référence. Selon l'invention, l'interférence entre le faisceau partiel réfléchi et le faisceau de référence peut fournir des informations sur le profil de rugosité de la surface de l'objet (2) à examiner, le(s) faisceau(s) partiel(s) (8e, 8g) rencontrant la surface de l'objet (2) à examiner de façon à former un angle compris entre approximativement 5° et 90° par rapport à la normale.
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