(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung des Höhenprofils eines Objekts (2), umfassend mindestens eine Lichtquelle (1) zur Erzeugung von Licht (8a), wobei mindestens ein Teilstrahl (8e, 8g) des Lichts (8a) auf eine zu untersuchende Oberfläche des Objekts (2) auftreffen und von dieser zumindest teilweise reflektiert werden kann, Erfassungsmittel (3), die sowohl den mindestens einen von der zu untersuchenden Oberfläche reflektierten Teilstrahl als auch mindestens einen weiteren als Referenzstrahl dienenden Teilstrahl des Lichts (8a) erfassen können, wobei aus der Interferenz zwischen reflektiertem Teilstrahl und Referenzstrahl Informationen über das Höhenprofil der zu untersuchenden Oberfläche des Objekts (2) gewonnen werden können, wobei der mindestens eine Teilstrahl (8e, 8g) auf die zu untersuchende Oberfläche des Objekts (2) unter einem Winkel von etwa 5° bis 90° zur Normalen auf der Oberfläche auftrifft.
(EN) The invention relates to an apparatus for determining the vertical profile of an object (2). Said apparatus comprises at least one light source (1) for generating light (8a), at least one partial beam (8e, 8g) of the light (8a) impinging a surface of the object (2), which is to be analyzed, and being reflected at least in part by said surface. The inventive apparatus further comprises detection means (3) which can detect both the at least one partial beam reflected by the surface that is to be analyzed and at least one additional partial beam of the light (8a), said additional partial beam being used as a reference beam. Data about the vertical profile of the surface of the object (2), which is to be analyzed, can be obtained from the interference between the reflected partial beam and the reference beam, the at least one partial beam (8e, 8g) impinging the surface of the object (2), which is to be analyzed, at an angle of about 5° to 90° relative to the normal.
(FR) L'invention concerne un dispositif servant à déterminer le profil de rugosité d'un objet (2). Ce dispositif comprend : au moins une source lumineuse (1) destinée à générer une lumière (8a), au moins un faisceau partiel (8e, 8g) de cette lumière (8a) rencontrant une surface de l'objet (2) à examiner et étant au moins partiellement réfléchi par cette surface ; des moyens de détection (3) pouvant détecter non seulement le(s) faisceau(x) partiel(s) réfléchi(s) par la surface à examiner, mais aussi au moins un autre faisceau partiel de ladite lumière (8a), qui sert de faisceau de référence. Selon l'invention, l'interférence entre le faisceau partiel réfléchi et le faisceau de référence peut fournir des informations sur le profil de rugosité de la surface de l'objet (2) à examiner, le(s) faisceau(s) partiel(s) (8e, 8g) rencontrant la surface de l'objet (2) à examiner de façon à former un angle compris entre approximativement 5° et 90° par rapport à la normale.
