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1. (WO2004057291) CAPTEUR DE PRESSION DIFFERENTIELLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2004/057291 N° de la demande internationale : PCT/EP2003/013891
Date de publication : 08.07.2004 Date de dépôt international : 08.12.2003
CIB :
G01L 9/00 (2006.01) ,G01L 19/06 (2006.01)
Déposants : BURCZYK, Dietfried[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHWABE, Friedrich[DE/DE]; DE (UsOnly)
VELTEN, Thomas[DE/DE]; DE (UsOnly)
GESSNER, Thomas[DE/DE]; DE (UsOnly)
HILLER, Karla[DE/DE]; DE (UsOnly)
ZICHNER, Norbert[DE/DE]; DE (UsOnly)
KURTH, Steffen[DE/DE]; DE (UsOnly)
WIEMER, Maik[DE/DE]; DE (UsOnly)
ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG[DE/DE]; Hauptstrasse 1 79689 Maulburg, DE (AllExceptUS)
Inventeurs : BURCZYK, Dietfried; DE
SCHWABE, Friedrich; DE
VELTEN, Thomas; DE
GESSNER, Thomas; DE
HILLER, Karla; DE
ZICHNER, Norbert; DE
KURTH, Steffen; DE
WIEMER, Maik; DE
Mandataire : ANDRES, Angelika; c/o Endress + Hauser Deutschland Holding GmbH PatServe Colmarer Strasse 6 79576 Weil am Rhein, DE
Données relatives à la priorité :
102 60 086.419.12.2002DE
Titre (EN) DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION DIFFERENTIELLE
(DE) DIFFERENZDRUCKSENSOR
Abrégé : front page image
(EN) The invention relates to a long-term stable, high-precision differential pressure sensor, comprising a pressure-sensitive, electrically conductive membrane (1) which is arranged between a first and a second base body (3, 5). During operation, a first pressure (p1), which is guided through a hole (13) in the first base body (3), acts upon the first side of the membrane. During operation, a second pressure (p2), which is guided through a hole (13) in the second base body (5), acts upon the second side of the membrane. The first and the second base body (3, 5) respectively comprise an electrically conductive plane (7, 9) orientated towards the membrane and away from the membrane, said bodies being separated from each other by an insulation layer (11). On the plane (7) orientated towards the membrane, at least one trench (14, 16, 33) extends towards the insulation layer (11). The trench electrically insulates an inner part of respective plane (7) which is orientated towards the membrane (1) and which is arranged at a distance therefrom, acting as an electrode (17, 35), in relation to an outer part (15) of the plane (7), which is orientated towards the membrane, and in relation to the membrane (1) which is connected thereto. The electrodes (17, 35) are electrically insulated with respect to the plane (9) which is orientated away from the membrane of the associated base body (3, 5). Each electrode (17, 35) forms a capacitor along with the membrane (1), the capacity acting as a measure for an active differential pressure value.
(FR) L'invention concerne un capteur de pression différentielle de grande précision, stable à long terme, comportant une membrane (1) électroconductrice sensible à la pression, placée entre un premier et un deuxième corps de base (3, 5). Une première pression (p1) acheminée à travers un trou (13) ménagé dans le premier corps de base (3) agit, lors du fonctionnement, sur le premier côté de cette membrane. Une deuxième pression (p2) acheminée à travers un trou (13) ménagé dans le deuxième corps de base (5) agit, lors du fonctionnement, sur le deuxième côté de cette membrane. Le premier et le deuxième corps de base (3, 5) présentent chacun un plan (7, 9) électroconducteur, orienté vers la membrane et opposé à cette dernière, qui sont séparés par une couche d'isolation (11). Dans les plans (7) orientés vers la membrane se trouve au moins une tranchée (14, 16, 33) menant jusqu'à la couche d'isolation (11), qui isole électriquement une partie intérieure de chaque plan (7) orienté vers la membrane, située à distance de la membrane (1), servant d'électrode (17, 35), par rapport à une partie extérieure (15) du plan (7), orienté vers membrane, et par rapport à la membrane (1) reliée à ce dernier. Les électrodes (17, 35) sont isolées électriquement par rapport au plan (9), opposé à la membrane, du corps de base associé (3, 5). Chaque électrode (17, 35) forme avec la membrane (1) un condensateur dont la capacité constitue une valeur de mesure d'une pression différentielle exerçant une influence.
(DE) Es ist ein hochgenauen langzeitstabilen Differenzdruck-sensor vorgesehen, mit einer zwischen einem ersten und einem zweiten Grundkörper (3, 5) angeordneten druck-empfindlichen elektrisch leitfähigen Membran (1), auf deren erste Seite im Betrieb ein durch eine Bohrung (13) im ersten Grundkörper (3) hindurch zugeführter erster Druck (p1) einwirkt und auf deren zweite Seite im Betrieb ein durch eine Bohrung (13) im zweiten Grundkörper (5) hindurch zugeführter zweiter Druck (p2) einwirkt, bei dem der erste und der zweite Grundkörper (3, 5) jeweils eine membran-zugewandte und eine membran-abgewandte elektrisch leitfähige Ebene (7, 9) aufweisen, die durch eine Isolationsschicht (11) voneinander getrennt sind, bei dem in den membran-zugewandten Ebenen (7) mindestens ein bis zur Isolationsschicht (11) führender Graben (14, 16, 33) vorgesehen ist, der einen als Elektrode (17, 35) dienenden innenliegenden von der Membran (1) beabstandeten Teil der jeweiligen membran-zugewandten Ebene (7) elektrisch von einem äußeren Teil (15) der membran-zugewandten Ebene (7) und der damit verbundenen Membran (1) isoliert, bei dem die Elektroden (17, 35) gegenüber der membran-abgewandten Ebenen (9) des zugehörigen Grundkörpers (3, 5) elektrisch isoliert sind, und bei dem jede Elektrode (17, 35) zusammen mit der Membran (1) jeweils einen Kondensator bildet, dessen Kapazität ein Maß für einen einwirkenden Differenzdruck ist.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)