Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

Aller à Demande

1. WO2004055476 - PROCEDE POUR DETERMINER LES PROPRIETES DE STRUCTURES METALLIQUES EN FILM MINCE A MOTIFS, EN UTILISANT LA REPONSE THERMIQUE TRANSITOIRE

Numéro de publication WO/2004/055476
Date de publication 01.07.2004
N° de la demande internationale PCT/IB2003/005876
Date du dépôt international 10.12.2003
CIB
G01B 11/06 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06pour mesurer l'épaisseur
CPC
G01B 11/0666
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
0616of coating
0666using an exciting beam and a detection beam including surface acoustic waves [SAW]
G01B 21/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
21Measuring arrangements or details thereof in so far as they are not adapted to particular types of measuring means of the preceding groups
02for measuring length, width, or thickness
G01N 21/171
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
171with calorimetric detection, e.g. with thermal lens detection
Déposants
  • KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL]/[NL] (AllExceptUS)
  • GOSTEIN, Michael [US]/[US] (UsOnly)
  • MAZNEV, Alexei [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • GOSTEIN, Michael
  • MAZNEV, Alexei
Représentant commun
  • KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
Données relatives à la priorité
60/433,31213.12.2002US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD OF DETERMINING PROPERTIES OF PATTERNED THIN FILM METAL STRUCTURES USING TRANSIENT THERMAL RESPONSE
(FR) PROCEDE POUR DETERMINER LES PROPRIETES DE STRUCTURES METALLIQUES EN FILM MINCE A MOTIFS, EN UTILISANT LA REPONSE THERMIQUE TRANSITOIRE
Abrégé
(EN)
The present invention measures a structure including multiple narrow metallic regions, each being disposed between neighboring regions comprising a second, non-metallic material. One step of the method is exciting the structure by irradiating it with a spatially periodic excitation field made up of excitation stripes in order to generate a thermal grating. Other steps are diffracting a probe laser beam off the thermal grating to form a signal beam; detecting the signal beam as a function of time to generate a signal waveform; and determining at least one property of the structure based on a thermal component of the signal waveform.
(FR)
Dans cette invention, on mesure une structure comprenant de multiples zones métalliques étroites qui sont chacune disposées entre des zones voisines comprenant un second matériau non métallique. Dans le procédé faisant l'objet de cette invention, l'une de ses étapes consiste à exciter la structure en l'irradiant au moyen d'un champ d'excitation spatialement périodique constitué de bandes d'excitation afin de produire un réseau thermique. D'autres étapes consistent à produire la diffraction d'un faisceau laser de sonde depuis le réseau thermique pour former un faisceau de signal ; à détecter ce faisceau de signal en fonction du temps, pour produire une forme d'onde de signal ; et à déterminer au moins une propriété de ladite structure sur la base d'une composante thermique de la forme d'onde de signal.
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international