(EN) A polishing body (4) installed on a base material (5), comprising a polishing pad (6), a hard elastic member (7), and a soft member (8) stacked in this order from a polishing surface side, wherein, for example, a Rodel-nitta Co., Ltd.-make IC1000 (brand name) is used as the polishing pad (6), for example, a stainless steel sheet is used as the hard elastic member (7), and a * a Rodel-nitta Co., Ltd.-make Suba400 (brand name) is used as the soft member (8), a groove (6a) is provided in the polishing pad (6) on the polishing surface side, and the remaining thickness (d) of the polishing pad (6) at the position of the groove (6a) is set so as to meet the requirement of 0 mm < d ≤ 0.6 mm, whereby 'local pattern flatness' can be increased by increasing a step eliminating capability while assuring 'global removal uniformity', and the service life of the polishing body can be increased.
(FR) Un corps de polissage (4) installé sur un matériau de base (5), comprenant un tampon de polissage (6), un élément élastique dur (7), et un élément tendre (8) empilés dans cet ordre en partant d'un côté de la surface de polissage, dans lequel, par exemple, du IC1000 (nom de marque) de Rodel-nitta Co., Ltd. est utilisé comme tampon de polissage (6), par exemple, du Suba400 (nom de marque) de Rodel-nitta Co., Ltd. est utilisé comme élément tendre (8), une rainure (6a) est réalisée dans le tampon de polissage (6) sur le côté de la surface de polissage, et l'épaisseur restante (d) du tampon de polissage (6) sur la position de la rainure (6a) est établie de façon à respecter la règle de 0 mm < d = 0,6 mm, ce qui fait que la 'planéité du motif local' peut être augmentée en augmentant une possibilité d'éliminer une étape tout en assurant une 'uniformité d'enlèvement global', et que la durée de vie du corps de polissage peut être augmentée.
(JA) 研磨体4は、基材5に取り付けられる。研磨体4は、研磨パッド6、硬質弾性部材7、及び軟質部材8を、研磨面側からこの順に積層した構造を持つ。研磨パッド6として、例えば、ロデール社製のIC1000(商品名)が用いられる。硬質弾性部材7として、例えば、ステンレス板が用いられる。軟質部材8として、ロデール社製のSuba400(商品名)を用いられる。研磨パッド6は、研磨面側に溝6aを有する。研磨パッド6における溝6aの箇所の残り厚さdが、0mm<d≦0.6mmの条件を満たすように設定される。これにより、グローバル・リムーバル均一性」を確保しながら、段差解消性を高めて「ローカル・パターン平坦性」を向上させることができ、しかも寿命の長い研磨体とすることができる。