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1. WO2003106990 - PROCEDE PERMETTANT DE DETERMINER DES CONCENTRATIONS D'ADDITIFS DANS DES BAINS DE DEPOT ELECTROCHIMIQUE DE CUIVRE ACIDES

Numéro de publication WO/2003/106990
Date de publication 24.12.2003
N° de la demande internationale PCT/US2003/017568
Date du dépôt international 04.06.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 06.01.2004
CIB
G01N 27/416 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
27Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques
26en recherchant des variables électrochimiques; en utilisant l'électrolyse ou l'électrophorèse
416Systèmes
G01N 27/42 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
27Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques
26en recherchant des variables électrochimiques; en utilisant l'électrolyse ou l'électrophorèse
416Systèmes
42Mesure du dépôt ou de la libération de matériaux d'un électrolyte; Coulométrie, c. à d. mesure de l'équivalent de Coulomb du matériau dans un électrolyte
CPC
G01N 27/4161
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
26by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
416Systems
4161measuring the voltage and using a constant current supply, e.g. chronopotentiometry
G01N 27/42
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
26by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
416Systems
42Measuring deposition or liberation of materials from an electrolyte; Coulometry, i.e. measuring coulomb-equivalent of material in an electrolyte
Déposants
  • ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • HAN, Jianwen
  • ETTERMAN, Ronni, M.
  • ROBERTSON, Peter, M.
  • BHELLA, Richard
  • PRICE, David
Mandataires
  • CHAPPUIS, Margaret
Données relatives à la priorité
10/064,12513.06.2002US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR DETERMINING CONCENTRATIONS OF ADDITIVES IN ACID COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION BATHS
(FR) PROCEDE PERMETTANT DE DETERMINER DES CONCENTRATIONS D'ADDITIFS DANS DES BAINS DE DEPOT ELECTROCHIMIQUE DE CUIVRE ACIDES
Abrégé
(EN) The present invention relates to a method for determining concentration of brightener and leveler contained in an aqueous acid metal electroplating solution, which minimizes the interference between the effects of the brightener and the effects of the leveler, by firstly determining the concentration of the brightener at a first set of measurement conditions, and secondly determining the concentration of the leveler at a second set of measurement conditions, provided that the first set of measurement conditions differ from the second set of measurement conditions on either (1) the rotation speed of a rotating disc electrode used for measuring plating potential of said aqueous acid metal electroplating solution, or (2) the electroplating duration at which the plating potential of said aqueous acid metal electroplating solution is measured, such that the rotation speed of the first set of measurement conditions is lower than the rotation speed of the second set of measurement conditions, and that the electroplating duration of the first set of measurement conditions is shorter than that of the second set of measurement conditions.
(FR) L'invention concerne un procédé conçu pour déterminer la concentration d'un brillanteur ou d'un niveleur contenu dans une solution d'électrodéposition de métal acide aqueuse, qui permet de réduire au minimum l'interférence entre les effets du brillanteur et les effets du niveleur. Ce procédé consiste tout d'abord à déterminer la concentration du brillanteur selon un premier ensemble de conditions de mesure, puis à déterminer la concentration du niveleur selon un second ensemble de conditions de mesure. Ledit procédé est caractérisé en ce que le premier ensemble de conditions de mesure diffère du second soit (1) par la vitesse de rotation d'une électrode à disque rotatif utilisée pour mesurer le potentiel de déposition de ladite solution d'électrodéposition de métal acide aqueuse, soit (2) par la durée d'électrodéposition à laquelle le potentiel de déposition de ladite solution d'électrodéposition de métal acide aqueuse est mesuré, de sorte que la vitesse de rotation du premier ensemble de conditions de mesure soit inférieure à celle du second ensemble de conditions de mesure, et que la durée d'électrodéposition du premier ensemble de conditions de mesure soit plus courte que celle du second ensemble de conditions de mesure.
Documents de brevet associés
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