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1. WO2003102653 - PROCEDE DE PRODUCTION D'EFFILEMENTS VERTICAUX DANS DES GUIDES D'ONDE PAR SURPOLISSAGE

Numéro de publication WO/2003/102653
Date de publication 11.12.2003
N° de la demande internationale PCT/US2003/011833
Date du dépôt international 17.04.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 26.11.2003
CIB
G02B 6/122 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
10du type guide d'ondes optiques
12du genre à circuit intégré
122Elements optiques de base, p.ex. voies de guidage de la lumière
G02B 6/136 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
10du type guide d'ondes optiques
12du genre à circuit intégré
13Circuits optiques intégrés caractérisés par le procédé de fabrication
136par gravure
CPC
G02B 6/1228
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
1228Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
G02B 6/136
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
13Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
136by etching
Déposants
  • INTEL CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • SALIB, Michael
Mandataires
  • MALLIE, Michael, J.
Données relatives à la priorité
10/160,62531.05.2002US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR PRODUCING VERTICAL TAPERS IN OPTICAL WAVEGUIDES BY OVER POLISHING
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'EFFILEMENTS VERTICAUX DANS DES GUIDES D'ONDE PAR SURPOLISSAGE
Abrégé
(EN) A method to form a vertical waveguide taper in a planar waveguide includes providing a substrate (10), forming a cladding layer (12) or the substrate, forming a core layer (14) on the cladding layer (12) . A protective layer (16B) with an opening is formed on the core layer (14), the opening exposing a portion of the core layer. A chemical mechanical polishing process is performed so that dishing occurs in the exposed portion, forming a depression (31) , in the core (14) with a sloped sidewall. In one embodiment, the core layer (14) is then patterned so that a portion of the core layer is removed to about the depth of the depression. This removed portion includes a part of the core layer containing the depression. The resulting structure includes an unetched sloped surface that transitions to a substantially planar etched surface. The core layer is patterned and etched again to form the waveguide, with the sloped surface forming part of the taper.
(FR) L'invention concerne un procédé permettant de former un effilement de guide d'onde vertical dans un guide d'onde planaire, qui consiste à fournir un substrat (10), à former une couche de métallisation (12) sur le substrat, et à former une couche centrale (14) sur la couche de métallisation (12). Une couche de protection (16B) pourvue d'une ouverture est formée sur la couche centrale (14), l'ouverture exposant une partie de la couche centrale. Un polissage chimico-mécanique est effectué de façon que survienne un bombage dans la partie exposée, formant une dépression (31), dans la couche centrale (14) avec une paroi latérale inclinée. Dans un mode de réalisation, la couche centrale (14) est alors configurée de manière qu'une partie de ladite couche soit enlevée jusqu'à environ la profondeur de la dépression. La partie enlevée comporte une partie de la couche centrale contenant la dépression. La structure résultante comporte une surface inclinée non gravée qui opère une transition vers une surface gravée sensiblement planaire. La couche centrale est configurée, puis une nouvelle fois gravée, pour former le guide d'onde, la surface inclinée formant une partie de l'effilement.
Documents de brevet associés
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