(EN) A method to form a vertical waveguide taper in a planar waveguide includes providing a substrate (10), forming a cladding layer (12) or the substrate, forming a core layer (14) on the cladding layer (12) . A protective layer (16B) with an opening is formed on the core layer (14), the opening exposing a portion of the core layer. A chemical mechanical polishing process is performed so that dishing occurs in the exposed portion, forming a depression (31) , in the core (14) with a sloped sidewall. In one embodiment, the core layer (14) is then patterned so that a portion of the core layer is removed to about the depth of the depression. This removed portion includes a part of the core layer containing the depression. The resulting structure includes an unetched sloped surface that transitions to a substantially planar etched surface. The core layer is patterned and etched again to form the waveguide, with the sloped surface forming part of the taper.
(FR) L'invention concerne un procédé permettant de former un effilement de guide d'onde vertical dans un guide d'onde planaire, qui consiste à fournir un substrat (10), à former une couche de métallisation (12) sur le substrat, et à former une couche centrale (14) sur la couche de métallisation (12). Une couche de protection (16B) pourvue d'une ouverture est formée sur la couche centrale (14), l'ouverture exposant une partie de la couche centrale. Un polissage chimico-mécanique est effectué de façon que survienne un bombage dans la partie exposée, formant une dépression (31), dans la couche centrale (14) avec une paroi latérale inclinée. Dans un mode de réalisation, la couche centrale (14) est alors configurée de manière qu'une partie de ladite couche soit enlevée jusqu'à environ la profondeur de la dépression. La partie enlevée comporte une partie de la couche centrale contenant la dépression. La structure résultante comporte une surface inclinée non gravée qui opère une transition vers une surface gravée sensiblement planaire. La couche centrale est configurée, puis une nouvelle fois gravée, pour former le guide d'onde, la surface inclinée formant une partie de l'effilement.
