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1. WO2003101762 - PROCEDE PERMETTANT DE NETTOYER ET DE REPASSIVER DES PARTIES D'EQUIPEMENT A SEMI-CONDUCTEUR

Numéro de publication WO/2003/101762
Date de publication 11.12.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/016670
Date du dépôt international 28.05.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 18.12.2002
CIB
C11D 7/08 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
11HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
DCOMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
7Compositions détergentes formées essentiellement de composés non tensio-actifs
02Composés inorganiques
04solubles dans l'eau
08Acides
C11D 11/00 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
11HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
DCOMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
11Méthodes particulières pour la préparation de compositions contenant des mélanges de détergents
C23C 14/56 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
56Appareillage spécialement adapté au revêtement en continu; Dispositifs pour maintenir le vide, p.ex. fermeture étanche
C23C 22/50 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
22Traitement chimique de surface de matériaux métalliques par réaction de la surface avec un milieu réactif laissant des produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, p.ex. revêtement par conversion, passivation des métaux
05au moyen de solutions aqueuses
06au moyen de solutions aqueuses acides d'un pH < 6
48ne contenant ni phosphates, ni composés du chrome hexavalent, ni fluorures ou fluorures complexes, molybdates, tungstates, vanadates ou oxalates
50Traitement du fer ou des alliages à base de fer
C23G 1/08 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
GNETTOYAGE OU DÉGRAISSAGE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DES PROCÉDÉS CHIMIQUES NON ÉLECTROLYTIQUES
1Nettoyage ou décapage de matériaux métalliques au moyen de solutions ou de sels fondus
02avec des solutions acides
08Fer ou acier
CPC
B24C 1/003
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
1Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
003using material which dissolves or changes phase after the treatment, e.g. ice, CO2
B24C 3/32
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
3Abrasive blasting machines or devices; Plants
32designed for abrasive blasting of particular work, e.g. the internal surfaces of cylinder blocks
B24C 3/322
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
3Abrasive blasting machines or devices; Plants
32designed for abrasive blasting of particular work, e.g. the internal surfaces of cylinder blocks
322for electrical components
C11D 11/0047
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
11Special methods for preparing compositions containing mixtures of detergents
0005Special cleaning and washing methods
0011characterised by the objects to be cleaned
0023"Hard" surfaces
0047Electronic devices, e.g. PCBs, semiconductors
C11D 7/08
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
7Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
02Inorganic compounds
04Water-soluble compounds
08Acids
C23C 14/564
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
Déposants
  • ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • PEEBLES, Henry, C.
Mandataires
  • ZITMANN, Oliver, A.M.
Données relatives à la priorité
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PROCESS FOR CLEANING AND REPASSIVATING SEMICONDUCTOR EQUIPMENT PARTS
(FR) PROCEDE PERMETTANT DE NETTOYER ET DE REPASSIVER DES PARTIES D'EQUIPEMENT A SEMI-CONDUCTEUR
Abrégé
(EN) A wet cleaning/passivation process for a passivatable metal part including a contiminant-bearing surface. The process includes the steps of: (a) contacting the contaminant-bearing part with an aqueous acid solution effective for pickling the contaminant-bearing surface of the contaminant-bearing part, with such contacting being conducted for sufficient time and at sufficient temperature to achieve pickling of the contaminant-bearing surface; (b) contacting the cleaned surface of the part with a passivating aqueous solution, with such contacting being conducted for sufficient time and at sufficient temperature to passivate the cleaned surface; and (c) CO2 blasting the surface, to remove micron and sub-micron particles from the surface.
(FR) L'invention concerne un procédé de lavage/passivation destiné à une partie métallique passivable comportant une surface porteuse de contaminants. Ce procédé consiste : (a) à mettre la partie porteuse de contaminants en contact avec une solution acide aqueuse qui permet de décaper la surface porteuse de contaminants de la partie porteuse de contaminants, et ce pendant une durée et à une température suffisantes pour effectuer le décapage de la surface porteuse de contaminants ; (b) à mettre la surface lavée de la partie en contact avec une solution aqueuse passivante, et ce pendant une durée et à une température suffisantes pour passiver la surface lavée ; et (c) à effectuer un abatage au CO2 sur ladite surface afin d'en éliminer les particules microniques et submicroniques de la surface.
Documents de brevet associés
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