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1. WO2003022571 - PROCEDE DE PRODUCTION DE FEUILLES STRUCTUREES DE CERAMIQUE VERTE ET DISPOSITIFS DE CERAMIQUE A COUCHES MULTIPLES

Numéro de publication WO/2003/022571
Date de publication 20.03.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/026149
Date du dépôt international 15.08.2002
CIB
B81C 1/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
C04B 35/565 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
515à base de non oxydes
56à base de carbures
565à base de carbure de silicium
C04B 35/581 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
515à base de non oxydes
58à base de borures, nitrures ou siliciures
581à base de nitrure d'aluminium
C04B 35/584 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
515à base de non oxydes
58à base de borures, nitrures ou siliciures
584à base de nitrure de silicium
G03F 7/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
CPC
B32B 18/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
18Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
B32B 2311/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2311Metals, their alloys or their compounds
02Noble metals
04Gold
B32B 2311/08
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2311Metals, their alloys or their compounds
02Noble metals
08Silver
B32B 2311/09
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2311Metals, their alloys or their compounds
02Noble metals
09Palladium
B32B 2315/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2315Other materials containing non-metallic inorganic compounds not provided for in groups B32B2311/00 - B32B2313/04
02Ceramics
B81B 2201/058
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
05Microfluidics
058Microfluidics not provided for in B81B2201/051 - B81B2201/054
Déposants
  • MOTOROLA, INC., A CORPORATION OF THE STATE OF DELAWARE [US]/[US]
Inventeurs
  • BURDON, Jeremy, W.
  • WILCOX, David, L.
Mandataires
  • KOCH, William, E.
Données relatives à la priorité
09/953,66413.09.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PROCESS FOR THE PRODUCTION OF PATTERNED CERAMIC GREEN-SHEETS AND MULTILAYERED CERAMIC DEVICES
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION DE FEUILLES STRUCTUREES DE CERAMIQUE VERTE ET DISPOSITIFS DE CERAMIQUE A COUCHES MULTIPLES
Abrégé
(EN)
A Cast-on-resist (COR) method comprises depositing a resist (102) on a substrate (104) and selectively exposing the resist (102) to a radiation source such that a first portion (106) of the resist (102) having a positive image of the pattern is soluble in a solvent and a second portion (108) of the resist (102) having a negative image of the pattern is insoluble in the solvent. The resist (102) is immersed in the solvent to remove the first portion (106) to form a casting substrate (100) having the negative image of the pattern, applying ceramic slurry (212) on the casting substrate (100), curing the ceramic slurry (212) on the casting substrate (100), and removing the ceramic slurry (212) from the casting substrate (100) after the curing.
(FR)
L'invention concerne un procédé de moulage de résine en place consistant à déposer une photorésine (102) sur un substrat (104) et à exposer sélectivement la photorésine (102) à une source de rayonnement de façon qu'une première portion (106) de la photorésine (102), comportant une image positive de la structure, soit soluble dans un solvant et qu'une seconde portion (108) de la photorésine (102), comportant une image négative, soit insoluble dans ce solvant. La photorésine (102) est immergée dans le solvant afin d'éliminer la première portion (106) de façon à former un substrat de coulée (100) comportant l'image négative de la structure, puis une suspension de céramique (212) est appliquée sur le substrat de coulée (100), la suspension de céramique (212) sur le substrat de coulée (100) étant ensuite durcie et éliminée du substrat de coulée (100) après durcissement.
Également publié en tant que
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