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Paramétrages

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1. WO2003008674 - PROCEDE DE FABRICATION DE CRISTAUX OPTIQUES DE FLUORURE DE HAUTE PURETE

Numéro de publication WO/2003/008674
Date de publication 30.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/022927
Date du dépôt international 18.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 06.02.2003
CIB
C01B 9/08 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
01CHIMIE INORGANIQUE
BÉLÉMENTS NON MÉTALLIQUES; LEURS COMPOSÉS
9Méthodes générales de préparation des halogénures
08Fluorures
C01F 5/28 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
01CHIMIE INORGANIQUE
FCOMPOSÉS DE BÉRYLLIUM, MAGNÉSIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARYUM, RADIUM, THORIUM OU COMPOSÉS DES MÉTAUX DES TERRES RARES
5Composés du magnésium
26Halogénures de magnésium
28Fluorures
C01F 11/20 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
01CHIMIE INORGANIQUE
FCOMPOSÉS DE BÉRYLLIUM, MAGNÉSIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARYUM, RADIUM, THORIUM OU COMPOSÉS DES MÉTAUX DES TERRES RARES
11Composés du calcium, du strontium ou du baryum
20Halogénures
C30B 11/00 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
30CROISSANCE DES CRISTAUX
BCROISSANCE DES MONOCRISTAUX; SOLIDIFICATION UNIDIRECTIONNELLE DES MATÉRIAUX EUTECTIQUES OU DÉMIXTION UNIDIRECTION- NELLE DES MATÉRIAUX EUTECTOÏDES; AFFINAGE DES MATÉRIAUX PAR FUSION DE ZONE; PRODUCTION DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; MONOCRISTAUX OU MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; POST-TRAITEMENT DE MONOCRISTAUX OU DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; APPAREILLAGES À CET EFFET
11Croissance des monocristaux par simple solidification ou dans un gradient de température, p.ex. méthode de Bridgman-Stockbarger
CPC
C01B 9/08
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
9General methods of preparing halides
08Fluorides
C01F 11/20
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
FCOMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
11Compounds of calcium, strontium, or barium
20Halides
C01F 5/28
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
FCOMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
5Compounds of magnesium
26Magnesium halides
28Fluorides
C01P 2004/61
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
2004Particle morphology
60Particles characterised by their size
61Micrometer sized, i.e. from 1-100 micrometer
C01P 2006/80
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
2006Physical properties of inorganic compounds
80Compositional purity
C30B 11/00
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL-GROWTH
11Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
Déposants
  • CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza Corning, NY 14831, US
Inventeurs
  • KERDONCUFF, Alain; FR
  • MAYOLET, Alexandre, M.; FR
Mandataires
  • MURPHY, Edward, F.; Corning Incorporated SP TI 3 1 Corning, NY 14831, US
  • SCHAEBERLE, Timothy, M.; Patent Dept. SP TI 3-1 Corning Incorporated Corning, NY 14831, US
Données relatives à la priorité
010971020.07.2001FR
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD OF MAKING HIGH PURITY OPTICAL FLUORIDE CRYSTALS
(FR) PROCEDE DE FABRICATION DE CRISTAUX OPTIQUES DE FLUORURE DE HAUTE PURETE
Abrégé
(EN)
The present invention relates to the manufacturing of high purity optical fluoride crystals, the making of purified optical fluoride crystal feedstocks and to the anionic purification of optical fluoride crystalline materials. The invention relates generally to methods for removing oxide impurities from optical fluoride crystal feedstocks. More specifically, the invention relates to a method for preparing purified optical fluoride crystal feedstocks and the use of the feedstock in manufacturing VUV< 200nm transmission optical fluoride crystals for VUV lithography/laser systems.
(FR)
La présente invention se rapporte à la fabrication de cristaux optiques de fluorure ayant une pureté élevée, à la création de charges de cristaux optiques de fluorure et à la purification anionique des matières cristallines à base de fluorure. L'invention concerne généralement des procédés pour évacuer les impuretés d'oxydes depuis les charges de cristaux optiques de fluorure. Elle concerne plus particulièrement un procédé de création de charges du cristal optique de fluorure purifié et l'utilisation des charges dans la production des cristaux VUV< à transmission de 200nm pour des systèmes VUV de lithographie/laser.
Également publié en tant que
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