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1. WO2003008359 - CORPS DE CONNEXION EN CERAMIQUE, PROCEDE DE CONNEXION DES CORPS EN CERAMIQUE, ET CORPS STRUCTUREL EN CERAMIQUE

Numéro de publication WO/2003/008359
Date de publication 30.01.2003
N° de la demande internationale PCT/JP2002/007362
Date du dépôt international 19.07.2002
CIB
C04B 35/08 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
01à base d'oxydes
08à base d'oxyde de béryllium
C04B 35/10 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
01à base d'oxydes
10à base d'oxyde d'aluminium
C04B 35/14 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
01à base d'oxydes
14à base de silice
C04B 35/185 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
01à base d'oxydes
16à base de silicates autres que l'argile
18riches en oxyde d'aluminium
185Mullite
C04B 35/565 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
515à base de non oxydes
56à base de carbures
565à base de carbure de silicium
C04B 35/583 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
515à base de non oxydes
58à base de borures, nitrures ou siliciures
583à base de nitrure de bore
CPC
B32B 18/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
18Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
B32B 2038/0064
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
38Ancillary operations in connection with laminating processes
0052Other operations not otherwise provided for
0064Smoothing, polishing, making a glossy surface
B32B 2309/12
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2309Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
12Pressure
B32B 2315/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2315Other materials containing non-metallic inorganic compounds not provided for in groups B32B2311/00 - B32B2313/04
02Ceramics
B32B 38/145
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
38Ancillary operations in connection with laminating processes
14Printing or colouring
145Printing
C04B 2111/00612
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2111Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
00474Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00
00612as one or more layers of a layered structure
Déposants
  • IBIDEN CO., LTD. [JP/JP]; 1, Kanda-cho 2-chome Ogaki-shi, Gifu 503-0917, JP (AllExceptUS)
  • ITO, Yasutaka [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • OZAKI, Jun [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • ITO, Yasutaka; JP
  • OZAKI, Jun; JP
Mandataires
  • OGAWA, Junzo ; Kobikikan Ginza Bldg. 8-9, Ginza 2-chome Chuo-ku, Tokyo 104-0061, JP
Données relatives à la priorité
2001-22038519.07.2001JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) CERAMIC CONNECTION BODY, METHOD OF CONNECTING THE CERAMIC BODIES, AND CERAMIC STRUCTURAL BODY
(FR) CORPS DE CONNEXION EN CERAMIQUE, PROCEDE DE CONNEXION DES CORPS EN CERAMIQUE, ET CORPS STRUCTUREL EN CERAMIQUE
Abrégé
(EN)
A ceramic connection body effectively used for a semiconductor manufacturing and inspecting device including a hot plate, a method of connecting the ceramic bodies to each other, and a ceramic structural body, the ceramic connection body formed of ceramic bodies connected to each other wherein coarse pores having an average diameter larger than the average particle size of ceramic particles forming the ceramic body and 2000 μm or less are formed in a connection boundary surface between one ceramic body and the other ceramic body.
(FR)
L'invention se rapporte à un corps de connexion en céramique utilisé efficacement dans un dispositif de fabrication et d'inspection de semi-conducteur comprenant une plaque chauffante, à un procédé de connexion des corps en céramique les uns aux autres, et à un corps structurel en céramique, le corps de connexion en céramique formé de corps en céramique reliés les uns aux autres présentant des pores grossiers dont le diamètre moyen est supérieur à la granulométrie moyenne des particules en céramique formant le corps en céramique, 2000 $g(m)m ou moins étant formés dans une surface limite de connexion entre un corps en céramique et l'autre corps en céramique.
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international