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Paramétrages

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1. WO2003007347 - INTERFACE DE PORTE DE CHARGEMENT D'INTERFACE MECANIQUE NORMALISEE COMPRENANT UNE PORTE D'ACCES INTELLIGENTE

Numéro de publication WO/2003/007347
Date de publication 23.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/021968
Date du dépôt international 10.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 30.04.2003
CIB
H01L 21/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
H01L 21/67259
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
H01L 21/67772
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67763the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
67772involving removal of lid, door, cover
H01L 21/67775
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67763the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
67775Docking arrangements
Y10S 414/14
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
414Material or article handling
135Associated with semiconductor wafer handling
14Wafer cassette transporting
Déposants
  • ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 48761 Kato Road Fremont, CA 94538, US
Inventeurs
  • ROSENQUIST, Frederick, T.; US
Mandataires
  • MILLER, Mark, E. ; O'Melveny & Myers LLP 275 Battery Street San Francisco, CA 94111, US
Données relatives à la priorité
09/905,33913.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SMIF LOAD PORT INTERFACE INCLUDING SMART PORT DOOR
(FR) INTERFACE DE PORTE DE CHARGEMENT D'INTERFACE MECANIQUE NORMALISEE COMPRENANT UNE PORTE D'ACCES INTELLIGENTE
Abrégé
(EN)
A SMIF load port assembly is disclosed including a port door position compensation assembly capable of dynamically adjusting a relative spacing between a front surface of a port door and a front surface of a pod door loaded onto the load port assembly so as to compensate for any improper positioning of the front surface of the pod. The position compensation assembly includes a plunger translationally mounted in the port door, and a sensor for detecting a position of the plunger. As a pod is loaded onto the load port assembly is advanced toward the port door, the front surface of the pod door contacts the plunger at which point the position compensation assembly in combination with an overall controller can identify the exact position of the pod door. From this identification, the position of the port and/or pod doors may be adjusted to compensate for any improper positioning of the front surface of the pod door on the load port assembly.
(FR)
L'invention concerne un ensemble porte de chargement d'interface mécanique normalisée (SMIF) comprenant un ensemble de compensation de position de porte d'accès capable de régler dynamiquement un espace relatif entre une surface avant de porte d'accès et une surface avant de porte de nacelle chargée sur l'ensemble porte de chargement de façon à compenser tout positionnement incorrect de la surface avant de la nacelle. L'ensemble de compensation de position comprend un piston plongeur monté par translation dans la porte d'accès, et un capteur permettant de détecter la position dudit piston plongeur. A mesure que la nacelle est chargée sur l'ensemble porte de chargement, elle avance vers la porte d'accès, la surface avant de la porte de nacelle coopérant avec le piston plongeur. L'ensemble de compensation de position associé à un contrôleur global peut alors identifier la position exacte de ladite porte de nacelle. A partir de cette identification, la position de la porte et/ou des portes de nacelle peuvent être réglées de façon à compenser tout positionnement incorrect de la surface avant de la porte de nacelle sur l'ensemble porte de chargement.
Également publié en tant que
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