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Paramétrages

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1. WO2003007129 - STRATEGIES DE PROGRAMMATION DE TRAJECTOIRE ET DE COMMANDE DE MOUVEMENT DESTINEES A UN BRAS A TROIS DEGRES DE LIBERTE PLANAIRE

Numéro de publication WO/2003/007129
Date de publication 23.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/022594
Date du dépôt international 15.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 11.02.2003
CIB
B25J 9/16 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9Manipulateurs à commande programmée
16Commandes à programme
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
B25J 9/1664
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
16Programme controls
1656characterised by programming, planning systems for manipulators
1664characterised by motion, path, trajectory planning
G05B 2219/39246
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
39Robotics, robotics to robotics hand
39246Control position and orientation of handled object
G05B 2219/40513
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
40Robotics, robotics mapping to robotics vision
40513Planning of vehicle and of its manipulator arm
H01L 21/67739
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67739into and out of processing chamber
Y10S 700/90
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
700Data processing: generic control systems or specific applications
90Special robot structural element
Y10T 74/20317
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
74Machine element or mechanism
20Control lever and linkage systems
20207Multiple controlling elements for single controlled element
20305Robotic arm
20317including electric motor
Déposants
  • BROKS AUTOMATION, INC. [--/--]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824, US
Inventeurs
  • HOSEK, Martin; US
  • ELMALI, Hakan; US
Mandataires
  • GREEN, Clarence, A. ; Perman & Green, LLP 425 Post Road Fairfield, CT 06824, US
Données relatives à la priorité
10/196,68515.07.2002US
60/305,17713.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) TRAJECTORY PLANNING AND MOTION CONTROL STRATEGIES FOR A PLANAR THREE-DEGREE-OF-FREEDOM ROBOTIC ARM
(FR) STRATEGIES DE PROGRAMMATION DE TRAJECTOIRE ET DE COMMANDE DE MOUVEMENT DESTINEES A UN BRAS A TROIS DEGRES DE LIBERTE PLANAIRE
Abrégé
(EN)
A method for moving a substrate (24) to a predetermined location with a specified orientation with a robotic manipulator (11), the robotic manipulator (11) having a plurality of joint actuators and an end-effector (16) for independently rotatable with respect to the remaining robotic manipulator (11). The method comprises selecting a reference point (26) on the end-effector (16), wherein the reference point (26) is offset from a wrist of the robotic manipulator (11), determining a motion path for movement of the end-effector (16) of robotic arm toward predetermined location with specified orientation, and generation motion profiles for translational and rotational components of movement of the end-effector (16) of robotic manipulator (11) along the motion path. The motion profiles are converted into joint motion profiles for each of the joint actuators of the robotic manipulator (11) for implementing the movement of the end-effector (16) to predetermined location with the specified orientation.
(FR)
L'invention concerne un procédé destiné à déplacer un substrat vers un emplacement prédéfini avec un orientation spécifique au moyen d'un bras manipulateur, ce bras possédant plusieurs actionneurs d'articulation et un organe effecteur destiné à tenir le substrat, cet organe effecteur pouvant être mis en rotation de façon indépendante par rapport au bras manipulateur. Le procédé consiste à choisir un point de référence sur l'organe effecteur afin de déterminer une position de celui-ci, ce point de référence étant excentré par rapport aux poignées du bras manipulateur, à déterminer une trajectoire de mouvement en vue de déplacer l'organe effecteur du bras vers un emplacement prédéfini avec une orientation spécifique, et à produire des profils de mouvement pour des composantes de translation et de rotation du mouvement de l'organe effecteur du bras manipulateur le long de la trajectoire de mouvement. Les profils de mouvement sont convertis en profil de mouvement d'articulation pour chaque actionneur d'articulation du bras manipulateur en vue d'exécuter le mouvement de l'organe effecteur vers l'emplacement prédéfini avec une orientation spécifique.
Également publié en tant que
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