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Paramétrages

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1. WO2003006952 - PROCEDE ET DISPOSITIF SERVANT A MANIPULER UN SPECIMEN

Numéro de publication WO/2003/006952
Date de publication 23.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/022442
Date du dépôt international 12.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 13.02.2003
CIB
G01Q 10/06 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
10Dispositions pour le balayage ou le positionnement, c. à d. dispositions pour commander de manière active le mouvement ou la position de la sonde
04Balayage ou positionnement fin
06Circuits ou algorithmes à cet effet
G01Q 70/16 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
16Fabrication des sondes
CPC
G01B 5/28
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
5Measuring arrangements characterised by the use of mechanical means
28for measuring roughness or irregularity of surfaces
G01D 5/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
5Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
26characterised by optical transfer means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
G01Q 10/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
02Coarse scanning or positioning
G01Q 10/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04Fine scanning or positioning
G01Q 10/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04Fine scanning or positioning
06Circuits or algorithms therefor
G01Q 70/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
02Probe holders
Déposants
  • VEECO INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 100 Sunnyside Blvd. Woodbury, NY 11797, US
Inventeurs
  • CHAND, Ami; US
  • KJOLLER, Kevin, J.; US
  • BABCOCK, Kenneth, L.; US
  • HARRIS, Michael, K.; US
Mandataires
  • DURST, Jay, G.; Boyle Fredrickson Newholm Stein & Gratz S.C. Suite 1030 250 East Wisconsin Avenue Milwaukee, WI 53202, US
Données relatives à la priorité
09/904,63413.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR MANIPULATING A SAMPLE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF SERVANT A MANIPULER UN SPECIMEN
Abrégé
(EN)
A method and apparatus for manipulating the surface of a sample including a cantilever (140), a first tip (120) mounted on the cantilever, and a second tip (130) mounted on the cantilever, the first and the second tip being configured to combine to form an imaging probe and to separate to form a manipulation probe. The first and second tips (120, 130) are configured to form a first position characterized in that the tips (120, 130) combine to form an imaging tip and the first and the second tips (120, 130) separated to manipulate particles on a surface of a sample. The tips can be configured to form the first position when a voltage is applied across the tips, and preferably extend downwardly from the cantilever (140) substantially perpendicular thereto.
(FR)
Procédé et dispositif servant à manipuler la surface d'un spécimen et consistant en un porte-à-faux (140), une première pointe (120) montée sur le porte-à-faux et une deuxième pointe (130) montée également sur le porte-à-faux, cette première et cette deuxième pointe étant conçues pour se combiner de manière à constituer une sonde d'imagerie ou pour se séparer de manière à créer une sonde de manipulation. Cette première et cette deuxième pointe (120, 130) sont conçues pour se placer dans une première position dans laquelle elle se combinent de façon caractéristique afin de constituer une pointe d'imagerie ou pour prendre une deuxième position dans laquelle elles se séparent afin de manipuler des particules sur la surface d'un spécimen (410). La configuration de ces pointes peut être placée en première position lors de l'application d'une tension aux pointes, dans laquelle elles s'étendent, de préférence, vers le bas perpendiculairement au porte-à-faux (140).
Également publié en tant que
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