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Paramétrages

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1. WO2003006920 - INTERFEROMETRE A BALAYAGE POUR SURFACES ET FRONTS D'ONDE ASPHERIQUES

Numéro de publication WO/2003/006920
Date de publication 23.01.2003
N° de la demande internationale PCT/EP2002/007378
Date du dépôt international 03.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 31.01.2003
CIB
G01B 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02Interféromètres
G01B 11/24 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
G01B 11/255 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
255pour mesurer le rayon de courbure
G01M 11/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11Test des appareils optiques; Test des structures ou des ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
02Test des propriétés optiques
CPC
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 11/255
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
255for measuring radius of curvature
G01B 2290/65
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2290Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
65Spatial scanning object beam
G01B 9/02039
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02034characterised by particularly shaped beams or wavefronts
02038Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
02039by matching the wavefront with a particular object surface shape
G01B 9/02057
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
02056Passive error reduction, i.e. not varying during measurement, e.g. by constructional details of optics
02057by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
G01B 9/02072
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
0207Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
02072by calibration or testing of interferometer
Déposants
  • KUECHEL, Michael [DE/DE]; DE
Inventeurs
  • KUECHEL, Michael; DE
Mandataires
  • COLE, David, John; Executive Liaison Services 43 Mount Felix Walton-on-Thames, Surrey KT12 2PJ, GB
Données relatives à la priorité
10/180,28626.06.2002US
60/303,85609.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SCANNING INTERFEROMETER FOR ASPHERIC SURFACES AND WAVEFRONTS
(FR) INTERFEROMETRE A BALAYAGE POUR SURFACES ET FRONTS D'ONDE ASPHERIQUES
Abrégé
(EN)
Interferometric scanning methods for measuring test optics having spherical or mildly aspherical surfaces use a partial spherical wavefront generated from a known origin along a scanning axis by use of a spherical reference surface along the axis upstream of the origin. A test optic is aligned with and moved along the axis so the spherical wavefront intersects the test optic at the aspherical surface's apex and at radial positions where the spherical wavefront and the aspheric surface intersect at points of common tangency, generating interferograms containing phase information about differences in optical path between center and radial positions. The interferogram is imaged, providing a signal carrying the phase information. The axial distance, v, by which the test optic is moved, is measured and the optical path length differences calculated. The coordinates, z and h, of the aspherical surface are calculated at the radial positions in correspondence with the interferometrically measured distance v and calculated path lengths, and the aspheric surface shape determined.
(FR)
L'invention concerne des procédés de balayage interférométriques qui permettent de mesurer des systèmes optiques ayant des surfaces sphériques ou légèrement asphériques. Ces procédés et ces méthodes utilisent un front d'onde partiellement sphérique généré par une source connue le long d'un axe de balayage au moyen d'une surface de référence sphérique le long de l'axe situé en amont de la source. Un système optique d'essai est aligné sur l'axe et déplacé le long de l'axe de façon que le front d'onde sphérique coupe le système optique d'essai au niveau du sommet de la surface asphérique et au niveau de ses positions radiales, où le front d'onde sphérique et la surface asphérique se coupent en des points tangents, générant ainsi des interférogrammes qui contiennent des informations de phase sur les différences de trajet optique entre les positions centrales et radiales. L'interférogramme est mis image, produisant ainsi un signal qui contient les informations de phase. On mesure la distance axiale v selon laquelle le système optique d'essai est déplacé et on calcule les différences de longueur du trajet optique sont calculées. On calcule les coordonnées z et h de la surface asphérique au niveau des positions radiales en correspondance avec la distance v mesurée par interférométrie et les longueurs de trajet calculées et on détermine la forme de la surface asphérique.
Également publié en tant que
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