Traitement en cours

Veuillez attendre...

PATENTSCOPE sera indisponible durant quelques heures pour des raisons de maintenance le dimanche 05.04.2020 à 10:00 AM CEST
Paramétrages

Paramétrages

1. WO2003006344 - PORTE-PLAQUETTES MINCE

Numéro de publication WO/2003/006344
Date de publication 23.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/022243
Date du dépôt international 12.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 12.02.2003
CIB
H01L 21/673 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
CPC
H01L 21/67326
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
67326Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
Y10S 206/832
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
206Special receptacle or package
832Semiconductor wafer boat
Déposants
  • ENTEGRIS, INC. [US/US]; 3500 Lyman Boulevard Chaska, MN 55318, US (AllExceptUS)
  • SIMPSON, Anthony [US/US]; US (UsOnly)
  • WISEMAN, Brian [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • SIMPSON, Anthony; US
  • WISEMAN, Brian; US
Mandataires
  • CHRISTENSEN, Douglas, J. ; Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.A. 4800 IDS Center 80 South Eighth Street Minneapolis, MN 55402-2100, US
Données relatives à la priorité
10/194,98111.07.2002US
60/304,96012.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) THIN WAFER CARRIER
(FR) PORTE-PLAQUETTES MINCE
Abrégé
(EN)
A wafer carrier (100) for carrying a plurality of axially aligned thin circular wafers. The wafer carrier has a framework portion (101) formed from a pair of end members (102, 106) connected by a plurality of side support members (118, 119). A pair of opposing sidewall (110) assemblies is positioned between the pair of end members, and is attached to at least one side support member. Each sidewall assembly has a plurality of shelves (111) defining a plurality of slots (112) for receiving a wafer (W). The sidewall assemblies are formed from a plurality of stacked together individual shelf members (150). Each shelf member has a body portion with an upper surface and a lower surface. The lower surface has a plurality of pegs (158) which are positioned to be received by a plurality of apertures (159) formed in the upper surface of an immediately adjacent individual shelf member (150).
(FR)
L'invention concerne un porte-plaquettes (100) permettant de porter une pluralité de fines plaquettes circulaires alignées axialement. Le porte-plaquettes comprend une partie d'ossature (101) formée par une paire d'éléments d'extrémité (102, 106) connectés par une pluralité d'éléments d'appui latéral (118, 119). Une paire d'assemblages de parois latérales (110) opposées est positionnée entre la paire d'éléments d'extrémité, et est attachée à au moins un élément d'appui latéral. Chaque assemblage de paroi latérale comprend une pluralité de tablettes (111) définissant une pluralité de rainures (112) permettant de recevoir une plaquette (W). Les assemblages des parois latérales sont formés à partir d'une pluralité d'éléments individuels (150) de tablettes empilés ensemble. Chaque élément de tablette présente une partie de corps avec une surface supérieure et une surface inférieure. La surface inférieure comprend une pluralité de chevilles (158) positionnées de façon à se loger dans une pluralité d'ouvertures (159) formées dans la surface supérieure d'un élément de tablette (150) immédiatement adjacent.
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international