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Paramétrages

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1. WO2003006343 - CASSETTE HORIZONTALE

Numéro de publication WO/2003/006343
Date de publication 23.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/022241
Date du dépôt international 12.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 12.02.2003
CIB
H01L 21/673 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
CPC
H01L 21/67369
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67369characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
H01L 21/67383
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67383characterised by substrate supports
Déposants
  • ENTEGRIS, INC. [US/US]; 3500 Lyman Boulevard Chaska, MN 55318, US (AllExceptUS)
  • DUBAN-HU, Joy [US/US]; US (UsOnly)
  • NIGG, James [US/US]; US (UsOnly)
  • WISEMAN, Brian [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • DUBAN-HU, Joy; US
  • NIGG, James; US
  • WISEMAN, Brian; US
Mandataires
  • CHRISTENSEN, Douglas, J. ; Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.A. 4800 IDS Center 80 South 8th Street Minneapolis, MN 55402-2100, US
Données relatives à la priorité
10/194,98311.07.2002US
60/305,06512.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) HORIZONTAL CASSETTE
(FR) CASSETTE HORIZONTALE
Abrégé
(EN)
A cassette (20) for storing film frames comprising a shell portion (30) with a plurality of shelves (46) to support a plurality of axially aligned horizontally stacked film frames. A pair of film retention members (52) are pivotally and rotatably attached at the sides of the shell inside the front opening.
(FR)
L'invention se rapporte à une cassette (20) conçue pour le stockage de cadres à feuille comportant une partie coque (30) associée à une pluralité de tablettes (46) permettant de supporter une pluralité de cadres à feuille empilés horizontalement et alignés axialement. Une paire d'éléments (52) de retenue des cadres à feuille est fixée pivotante et rotative sur les côtés de la coque à l'intérieur de l'ouverture frontale.
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