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Paramétrages

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1. WO2003005397 - ELECTRODE NOUVELLE A UTILISER AVEC UN APPAREIL EMETTEUR DE PLASMA ET SON PROCEDE D'UTILISATION

Numéro de publication WO/2003/005397
Date de publication 16.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/020905
Date du dépôt international 01.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 29.01.2003
CIB
H01J 1/16 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
1Détails des électrodes, des moyens de commande magnétiques, des écrans, ou du montage ou de l'espacement de ces éléments, communs au moins à deux types de base de tubes ou lampes à décharge
02Electrodes principales
13Cathodes thermo-ioniques solides
15Cathodes à chauffage direct par courant électrique
16caractérisées par leur forme
CPC
H01J 37/32532
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32532Electrodes
H05H 1/2406
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
2406Dielectric barrier discharges
H05H 2001/2418
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
2406Dielectric barrier discharges
2418the electrodes being embedded in the dielectric
Déposants
  • PLASMASOL CORPORATION [US/US]; 1345 Campus Parkway Wall Township, NJ 07753, US (AllExceptUS)
  • CROWE, Richard [US/US]; US (UsOnly)
  • BABKO-MALYI, Sergei [US/US]; US (UsOnly)
  • KOVACH, Kurt [US/US]; US (UsOnly)
  • TROPPER, Seth [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • CROWE, Richard; US
  • BABKO-MALYI, Sergei; US
  • KOVACH, Kurt; US
  • TROPPER, Seth; US
Mandataires
  • LUDWIG, S., Peter; Darby & Darby P.C. P.O. Box 5257 New York, NY 10150-5257, US
Données relatives à la priorité
60/302,89002.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) A NOVEL ELECTRODE FOR USE WITH ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA EMITTER APPARATUS AND METHOD FOR USING THE SAME
(FR) ELECTRODE NOUVELLE A UTILISER AVEC UN APPAREIL EMETTEUR DE PLASMA ET SON PROCEDE D'UTILISATION
Abrégé
(EN)
A plasma emitter apparatus (100) and method for using the same that includes a primary electrode (115) and a secondary electrode (140). The secondary electrode is porous, that is, it is configured to permit the passage of plasma discharge therethrough. Accordingly, the plasma is received at one side of the secondary electrode and emitted from its opposing plasma exiting side. Numerous configurations of the secondary electrode are possible so long as the plasma discharge is permitted to pass therethrough. For instance, the secondary electrode may be a laminate of multiple insulating material layers with at least one conductive layer sandwiched therebetween. A plurality of apertures are defined through the laminate and a dielectric sleeve is inserted into and retained in the aperture. The generated plasma passes through one or more holes defined in each of the dielectric sleeves. Alternatively, the secondary electrode may be formed as a plurality of unidirectional high voltage wires strung substantially parallel across a frame or a plurality of bidirectional high voltage wires interwoven and secured by a perimeter frame. Since the plasma passes through the secondary electrode the plasma reactor device may be position proximate or in direct contact with the surface of the object to be treated.
(FR)
L'invention concerne un appareil émetteur de plasma et son procédé d'utilisation, l'appareil comprenant une électrode primaire et une électrode secondaire. L'électrode secondaire est poreuse, c'est-à-dire qu'elle est configurée pour permettre le passage de décharge de plasma à travers celle-ci. Ainsi, le plasma est reçu d'un côté de l'électrode secondaire et est émis par son côté de sortie de plasma opposé. De nombreuses configurations de l'électrode secondaire sont possibles, du moment que la décharge de plasma peut passer à travers celle-ci. Par exemple, l'électrode secondaire peut être un stratifié de couches de matériau isolant multiples avec au moins une couche conductrice prise en sandwich entre elles. Plusieurs ouvertures sont formées dans le stratifié et une gaine diélectrique est insérée dans l'ouverture et maintenue dans celle-ci. Le plasma généré passe dans au moins une ouverture formée dans chaque gaine diélectrique. Sinon, la seconde électrode peut se présenter sous la forme de fils haute tension monodirectionnels tirés sensiblement parallèlement au travers d'un cadre ou sous forme de fils haute tension bidirectionnels entrelacés et fixés par un cadre périmétrique. Etant donné que le plasma passe à travers l'électrode secondaire, le dispositif réacteur à plasma peut être positionné à proximité ou en contact direct avec la surface de l'objet à traiter.
Également publié en tant que
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