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Paramétrages

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1. WO2003004967 - APPAREIL DE DETECTION DE LA POSITION, PROCEDE DE DETECTION DE LA POSITION ET APPAREIL DE TRANSFERT D'UNE PARTIE ELECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2003/004967
Date de publication 16.01.2003
N° de la demande internationale PCT/JP2002/006494
Date du dépôt international 27.06.2002
CIB
G03F 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
9Mise en registre ou positionnement d'originaux, de masques, de trames, de feuilles photographiques, de surfaces texturées, p.ex. automatique
CPC
G03F 9/7092
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
9Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
70for microlithography
7092Signal processing
G06T 7/74
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
70Determining position or orientation of objects or cameras
73using feature-based methods
74involving reference images or patches
Déposants
  • ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 1-32-1, Asahi-cho Nerima-ku, Tokyo 179-0071, JP (DE)
  • ICHIKAWA, Masayoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • YAMAGUCHI, Takahiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • ICHIKAWA, Masayoshi; JP
  • YAMAGUCHI, Takahiro; JP
Mandataires
  • RYUKA, Akihiro; 6F, Toshin Building 24-12, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022, JP
Données relatives à la priorité
2001-23847001.07.2001JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) POSITION DETECTION APPARATUS, POSITION DETECTION METHOD, AND ELECTR5ONIC PART CONVEY APPARATUS
(FR) APPAREIL DE DETECTION DE LA POSITION, PROCEDE DE DETECTION DE LA POSITION ET APPAREIL DE TRANSFERT D'UNE PARTIE ELECTRONIQUE
Abrégé
(EN)
A position detection apparatus includes comparison area selection means (34) for selecting a comparison area for comparing to a template image indicating an electronic part from an input image, phase difference calculation means (42) for calculating a phase difference for each frequency between a phase component when a template image is converted into a frequency component with a predetermined position in the template image as a reference and a phase component when a comparison area image is converted into a frequency component with a predetermined position in the comparison area as a reference, part position detection means (50) for detecting a position of a part in the input image according to a phase impulse response function into which the phase component difference is converted, relative part position detection means (60) for detecting relative positions of a plurality of parts in the input image, and electronic part position detection means (62) for detecting the position of an electronic part in the input image.
(FR)
L'invention concerne un appareil de détection d'une position comprenant des moyens de sélection d'une aire de comparaison (34) permettant de sélectionner une aire de comparaison afin de la comparer à une image gabarit indiquant une partie électronique provenant d'une image saisie, des moyens de calcul de la différence de phase (42) permettant de calculer une différence de phase pour chaque fréquence entre un composant de phase lorsque l'image gabarit est transformée en un composant de fréquence avec une positon prédéterminée dans l'image gabarit comme référence et un composant de phase lorsqu'une image d'aire de comparaison est transformée en un composant de fréquence avec une position prédéterminée dans l'aire de comparaison comme référence, des moyens de détection de la position d'une partie (50) permettant de détecter la position d'une partie de l'image saisie selon une fonction de réponse d'impulsion de phase en laquelle la différence de composant de phase est convertie, des moyens de détection de la positon d'une partie relative (60) permettant de détecter des positions relatives d'une pluralité de parties dans l'image saisie, ainsi que des moyens de détection de la position d'une partie électronique (62) permettant de détecter la position d'une partie électronique dans l'image saisie.
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