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Paramétrages

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1. WO2003004962 - INTERFEROMETRE MULTIAXIAL

Numéro de publication WO/2003/004962
Date de publication 16.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/021455
Date du dépôt international 08.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 03.02.2003
CIB
G01B 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02Interféromètres
CPC
G01B 2290/70
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2290Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
70Using polarization in the interferometer
G01B 9/02018
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02015characterised by a particular beam path configuration
02017contacting one object several times
02018Multiple-pass interferometer, e.g. double pass
G01B 9/02051
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02049characterised by particular mechanical design details
02051Integrated design, e.g. on-chip or monolithic
Déposants
  • ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-0448, US (AllExceptUS)
  • HILL, Henry, A. [US/US]; US (UsOnly)
  • CARLSON, Andrew, Eric [US/US]; US (UsOnly)
  • DE GROOT, Peter, J. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • HILL, Henry, A.; US
  • CARLSON, Andrew, Eric; US
  • DE GROOT, Peter, J.; US
Mandataires
  • FEIGENBAUM, David, L.; Fish & Richardson P.C. 225 Franklin Street Boston, MA 02110-2804, US
Données relatives à la priorité
60/303,55706.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MULTI-AXIS INTERFEROMETER
(FR) INTERFEROMETRE MULTIAXIAL
Abrégé
(EN)
A multi-axis interferometer (10) includes a mounting block (12) with first and second polarizing beam-splitter cubes (24, 28) contacting first and second faces (16, 18) of the mounting block (12). A beam-distribution system (64) contacts a third face (14) of the mounting block (12). The beam-distribution system (64) is thus placed in optical communication with the first polarizing beam-splitter cube (24) and the second polarizing beam-splitter cube (28).
(FR)
L'invention concerne un interféromètre multiaxial comportant un bloc de montage ainsi qu'un premier et un second séparateur de faisceau polarisant cubique touchant une première et une deuxième face du bloc de montage. Un système de distribution de faisceau touche une troisième face dudit bloc de montage. Ce système de distribution de faisceau est disposé de manière à être communication optique avec le premier séparateur de faisceau polarisant cubique et le second séparateur de faisceau polarisant cubique.
Également publié en tant que
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