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Paramétrages

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1. WO2003004199 - FABRICATION D'ANODES D'ELECTRODEPOSITION A GRAINS FINS

Numéro de publication WO/2003/004199
Date de publication 16.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2001/042234
Date du dépôt international 20.09.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 31.01.2003
CIB
B22D 7/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
22FONDERIE; MÉTALLURGIE DES POUDRES MÉTALLIQUES
DCOULÉE DES MÉTAUX; COULÉE D'AUTRES MATIÈRES PAR LES MÊMES PROCÉDÉS OU AVEC LES MÊMES DISPOSITIFS
7Coulée de lingots
C22F 1/08 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
22MÉTALLURGIE; ALLIAGES FERREUX OU NON FERREUX; TRAITEMENT DES ALLIAGES OU DES MÉTAUX NON FERREUX
FMODIFICATION DE LA STRUCTURE PHYSIQUE DES MÉTAUX OU ALLIAGES NON FERREUX
1Modification de la structure physique des métaux ou alliages non ferreux par traitement thermique ou par travail à chaud ou à froid
08du cuivre ou de ses alliages
C25D 17/10 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
25PROCÉDÉS ÉLECTROLYTIQUES OU ÉLECTROPHORÉTIQUES; APPAREILLAGES À CET EFFET
DPROCÉDÉS POUR LA PRODUCTION ÉLECTROLYTIQUE OU ÉLECTROPHORÉTIQUE DE REVÊTEMENTS; GALVANOPLASTIE; JONCTION DE PIÈCES PAR ÉLECTROLYSE; APPAREILLAGES À CET EFFET
17Éléments structurels, ou leurs assemblages, des cellules pour revêtement électrolytique
10Electrodes
CPC
B22D 7/005
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
22CASTING; POWDER METALLURGY
DCASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
7Casting ingots, ; e.g. from ferrous metals
005from non-ferrous metals
C22F 1/08
CCHEMISTRY; METALLURGY
22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
1Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
08of copper or alloys based thereon
C25D 17/10
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING
17Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
10Electrodes ; , e.g. composition, counter electrode
Y10T 29/49973
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
29Metal working
49Method of mechanical manufacture
49972with separating, localizing, or eliminating of as-cast defects from a metal casting [e.g., anti-pipe]
49973Compressing ingot while still partially molten
Y10T 29/49975
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
29Metal working
49Method of mechanical manufacture
49972with separating, localizing, or eliminating of as-cast defects from a metal casting [e.g., anti-pipe]
49975Removing defects
Y10T 29/49988
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
29Metal working
49Method of mechanical manufacture
4998Combined manufacture including applying or shaping of fluent material
49988Metal casting
Déposants
  • BRUSH WELLMAN INC. [US/US]; 17876 St. Clair Avenue Cleveland, OH 44110, US
Inventeurs
  • BISHOP, William, J.; US
Mandataires
  • MILLER, John, E.; Calfee, Halter & Griswold LLP 1400 McDonald Investment Center 800 Superior Avenue Cleveland, OH 44114, US
Données relatives à la priorité
09/897,84202.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MANUFACTURE OF FINE-GRAINED ELECTROPLATING ANODES
(FR) FABRICATION D'ANODES D'ELECTRODEPOSITION A GRAINS FINS
Abrégé
(EN)
A continuously cast copper ingot is made by a procedure in which turbulence is imparted to the metal/solid interface during the casting operation. The ingot is then hot worked to form a billet having a smaller average grain size and a larger diameter than possible in the past. The billet is especially useful for making electroplating anodes used in the damascene process for making copper interconnects in silicon wafers.
(FR)
L'invention concerne un lingot de cuivre moulé par coulée continue, fabriqué selon un procédé consistant à introduire des turbulences dans l'interface métal/solide lors de l'opération de coulage. Ce procédé consiste ensuite à travailler le lingot à chaud pour former une billette ayant une dimension moyenne des grains inférieure et un diamètre supérieur à ceux des billettes actuellement disponibles. Cette billette est particulièrement utile pour la fabrication d'anodes d'électrodéposition utilisées dans le procédé de damasquinage permettant d'obtenir des interconnexions de cuivre dans des tranches de silicium.
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