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Paramétrages

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1. WO2003003433 - PORT DE CAPTEUR DE CHAMBRE, CHAMBRE ET PROCESSEUR DE FAISCEAU ELECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2003/003433
Date de publication 09.01.2003
N° de la demande internationale PCT/JP2002/006346
Date du dépôt international 25.06.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 13.11.2002
CIB
H01J 37/18 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
18Fermetures étanches
CPC
H01J 2237/18
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
18Vacuum control means
H01J 37/18
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
18Vacuum locks ; ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Déposants
  • TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-8481, JP (AllExceptUS)
  • HAYASHI, Daisuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • HAYASHI, Daisuke; JP
Mandataires
  • KAMEYA, Yoshiaki ; KANEMOTO, KAMEYA, HAGIWARA AND INOUE YOTSUYA BRANCH Daiichi Tomizawa Building, 1-3, Yotsuya 3-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0004, JP
Données relatives à la priorité
2001-19579228.06.2001JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) CHAMBER SENSOR PORT, CHAMBER, AND ELECTRON BEAM PROCESSOR
(FR) PORT DE CAPTEUR DE CHAMBRE, CHAMBRE ET PROCESSEUR DE FAISCEAU ELECTRONIQUE
Abrégé
(EN)
A pressure sensor (28) is attached to the outer wall of a chamber (10) of an electron beam processor. A pressure sensing port (26) for communication of the sensor with the inside of the chamber is provided. The pressure sensing port (26) comprises an inner block (48) gas−tightly attached inside a port attaching opening and having a through hole (48a) extending through along the axis of the port attaching opening, an intermediate block (50) gas−tightly attached adjacently to the axial outside of the inner block and having a through hole (50a) extending through axially in a position where the through hole (50a) is not superposed on the through hole (48a) and communicating with the through hole (48a) through the gap formed between the inner block and the intermediate block, and an outer block gas−tightly attached between the inner block and intermediate block and having a through hole (52c) extending through axially in a position where the through hole (52c) is not superposed on both the through holes (48a, 50a) and communicating with the through holes (48a, 50a) through a gap formed between the inner block and the outer block and a gap formed between the intermediate block and the outer block.
(FR)
Un capteur (28) de pression est fixé à la paroi externe de la chambre (10) d'un processeur de faisceau électronique. Un port (26) capteur de pression permettant la communication du capteur avec l'intérieur de la chambre est prévu. Ce port (26) capteur de pression comprend un bloc intérieur (48) fixé étanche au gaz à l'intérieur d'une ouverture de fixation de port et possédant un alésage (48a) qui se prolonge à travers l'axe de cette ouverture de fixation de port, un bloc intermédiaire (50) fixé étanche au gaz à côté de l'axe extérieur du bloc intérieur et qui possède un alésage (50a) traversant de façon axiale et cet alésage (50a) ne se superpose pas avec l'alésage (48a) mais il communique avec cet alésage (48a) par l'écart formé entre le bloc intérieur et ce bloc intermédiaire. Ce port comprend aussi un bloc extérieur fixé étanche au gaz entre le bloc intérieur et le bloc intermédiaire qui possède un alésage (52c) traversant de façon axiale et cet alésage (52c) ne se superpose avec aucun des deux autres alésages (48a, 50a) mais il communique avec ces alésages par l'écart formé entre le bloc intérieur et ce bloc extérieur et l'écart formé entre le bloc intermédiaire et ce bloc extérieur.
Également publié en tant que
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