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1. WO2003003415 - PROCEDE ET APPAREIL DE GESTION DE MATERIAU DISTRIBUE ET CONTROLE DE CHEMINEMENT DANS UNE USINE DE CIRCUITS INTEGRES

Numéro de publication WO/2003/003415
Date de publication 09.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/019856
Date du dépôt international 25.06.2002
CIB
G05B 19/418 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
19Systèmes de commande à programme
02électriques
418Commande totale d'usine, c.à d. commande centralisée de plusieurs machines, p.ex. commande numérique directe ou distribuée (DNC), systèmes d'ateliers flexibles (FMS), systèmes de fabrication intégrés (IMS), productique (CIM)
H01L 21/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
CPC
G05B 19/41865
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
41865characterised by job scheduling, process planning, material flow
G05B 2219/31378
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
31From computer integrated manufacturing till monitoring
31378Queue control
G05B 2219/45031
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
45Nc applications
45031Manufacturing semiconductor wafers
H01L 21/67276
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
67276Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
Y02P 90/20
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
90Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
20characterised by job scheduling, process planning or material flow
Y02P 90/28
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
90Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
28characterised by transport systems
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054, US
Inventeurs
  • JEVTIC, Dusan; US
  • SUNKARA, Raja, S.; US
Mandataires
  • PATTERSON, William, B.; Moser, Patterson & Sheridan, LLP 3040 Post Oak Blvd. Suite 1500 Houston, TX 77056, US
Données relatives à la priorité
09/893,03726.06.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR PROVIDING DISTRIBUTED MATERIAL MANAGEMENT AND FLOW CONTROL IN AN INTEGRATED CIRCUIT FACTORY
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE GESTION DE MATERIAU DISTRIBUE ET CONTROLE DE CHEMINEMENT DANS UNE USINE DE CIRCUITS INTEGRES
Abrégé
(EN)
A method and apparatus for providing distributed material management and flow control in an integrated circuit (IC) factory. The IC factory comprises a factory stocker, a plurality of process bays and a factory transport agent for moving wafer cassettes between the bay and the stocker. Each of the bays comprises a bay stocker, a plurality of tools, a mini-stocker and a bay transport agent for moving wafers amongst the bay components. The apparatus uses partitioned stockers to facilitate deadlock avoidance or deadlock resolution. Additionally, various algorithms are used to detect wafer cassette movement situations where deadlocks may result from a wafer cassette movement within a bay and for resolving deadlocks when they occur.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un appareil de gestion de matériau distribué et de contrôle du cheminement dans une usine de circuits intégrés (IC). Cette usine de circuits intégrés (IC) est dotée d'un élément de stockage d'usine, de plusieurs zones de traitement et d'un agent de transport d'usine permettant de déplacer des cassettes de plaquettes d'une zone à un élément de stockage. Chaque zone est dotée d'un élément de stockage de zone, de plusieurs outils, d'un mini-élément de stockage et d'un agent de transport de zone permettant de déplacer des plaquettes parmi les éléments de zone. L'appareil utilise des éléments de stockage divisés afin d'éviter les immobilisations ou de faciliter la résolution d'immobilisations. De plus, on se sert de divers algorithmes afin de détecter des situations de mouvement de cassettes de plaquettes dans lesquelles les immobilisations peuvent résulter d'un mouvement de cassettes de plaquettes dans une zone et de résoudre des immobilisations lorsqu'elles se produisent.
Également publié en tant que
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