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Paramétrages

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1. WO2003001143 - APPAREILS ET PROCEDES POUR MESURER DES SURFACES OPTIQUES ET DES FRONTS D'ONDES ASPHERIQUES

Numéro de publication WO/2003/001143
Date de publication 03.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/017551
Date du dépôt international 29.05.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 15.01.2003
CIB
G01B 11/24 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
G01B 11/255 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
255pour mesurer le rayon de courbure
CPC
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 11/255
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
255for measuring radius of curvature
G01B 9/02024
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02015characterised by a particular beam path configuration
02024Measuring in transmission, i.e. light traverses the object
G01B 9/02039
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02034characterised by particularly shaped beams or wavefronts
02038Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
02039by matching the wavefront with a particular object surface shape
G01B 9/02057
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
02056Passive error reduction, i.e. not varying during measurement, e.g. by constructional details of optics
02057by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
Déposants
  • ZYGO CORPORATION [US/US]; Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-0448, US
Inventeurs
  • ZANONI, Carl, A.; US
Mandataires
  • CAUFIELD, Francis, J.; 6 Apollo Circle Lexington, MA 02421-7025, US
Données relatives à la priorité
60/299,51220.06.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING ASPHERICAL OPTICAL SURFACES AND WAVEFRONTS
(FR) APPAREILS ET PROCEDES POUR MESURER DES SURFACES OPTIQUES ET DES FRONTS D'ONDES ASPHERIQUES
Abrégé
(EN)
Interferometric method and apparatus for accurately measuring aspherical surfaces and transmitted wavefronts. An interferometer (5), preferably a Fizeau type, is provided with at least one aspherical reference surface (34) that is positioned adjacent the test optic (40). Phase shifting interferometric techniques are preferably used.
(FR)
L'invention concerne des procédés et appareils interférométriques servant à mesurer avec précision des surfaces et des fronts d'ondes émis asphériques, en particulier ceux du type présentant des diamètres et un écart relativement importants, employés dans des applications lithographiques dans la fabrication de circuits intégrés et similaires. Un interféromètre, de préférence du type Fizeau, comprend au moins une surface de référence asphérique positionnée de façon adjacente à l'optique de test. Cette optique de test peut être à symétrie de révolution ou non, une surface de test asphérique réfléchissante, ou un système de réfraction qui est éclairé par un front d'ondes asphérique ou qui produit un front d'ondes asphérique émis. Dans tous les cas, l'écart de l'optique de test par rapport à ses performances voulues est déterminé ultérieurement. La surface de référence asphérique est éclairée par un front d'ondes asphérique fourni par des optiques placées en amont, structurées de sorte que le front d'ondes asphérique incident se propage de façon perpendiculaire à la surface de référence asphérique sur la totalité de sa surface. Le front d'ondes asphérique d'éclairage est partiellement réfléchi et partiellement émis par la surface de référence pour produire un front de mesure asphérique qui frappe l'optique de test et qui présente une forme exactement identique à celle de la surface de test dans le cas d'une réflexion ou du front d'ondes émis voulu dans le cas d'une réfraction. La surface de test asphérique réfléchit le front d'ondes asphérique incident et est associée avec le front d'ondes asphérique de référence pour permettre de créer un interférogramme contenant des informations de phase donnant des indications sur la forme du front d'ondes produit par l'optique de test. L'interférogramme est affiché sur un système de photodétection de préférence bidimensionnel qui fournit un signal de sortie qui est analysé de façon à permettre l'extraction de l'information de phase pertinente, avant de le convertir sous une forme numérique et affichable. Ces techniques d'interférométrie à déphasage sont utilisées de préférence pour effectuer des analyses en combinaison avec des appareils d'alignement et des procédures visant à réaliser des mesures précises de l'optique de test.
Également publié en tant que
RU2004105854
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