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1. (WO2002091436) APPAREIL SERVANT A MESURER OU USINER UN OBJET ET POURVU D'UN ETAGE DE DEPLACEMENT COMPORTANT DES GUIDES CUNEIFORMES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/091436    N° de la demande internationale :    PCT/IB2002/001578
Date de publication : 14.11.2002 Date de dépôt international : 06.05.2002
CIB :
H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) (Tous Sauf US).
RUIJL, Theo, A., J. [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : RUIJL, Theo, A., J.; (NL)
Mandataire : ROLFES, Johannes, G., A.; Internationaal Octrooibureau B.V., Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
01201684.6 09.05.2001 EP
Titre (EN) APPARATUS FOR THE MEASUREMENT OR MACHINING OF AN OBJECT, PROVIDED WITH A DISPLACEMENT STAGE WITH WEDGE-SHAPED GUIDES
(FR) APPAREIL SERVANT A MESURER OU USINER UN OBJET ET POURVU D'UN ETAGE DE DEPLACEMENT COMPORTANT DES GUIDES CUNEIFORMES
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus provided with wedge-shaped elements is proposed for the precision positioning of objects (37) to be measured or machined. A wedge-shaped translational body (32) is carried by two bearing wedges (24, 26). In accordance with the invention the wedges can be independently translated in the x direction. The body is translated in the z direction by moving the bearing wedges over an equal distance but in opposite directions. The body is translated in the y direction by moving the bearing wedges over an equal distance in the same direction. The mutually moving parts of the apparatus are carried by means of fluid bearings. A high precision is thus obtained, because fewer errors due to non-infinite stiffnesses and error motions are accumulated. A laser measuring apparatus (74, 38, 40) is used for measuring and adjusting the position of the object carrier (34).
(FR)L'invention concerne un appareil pourvu d'éléments cunéiformes, servant au positionnement précis d'objets (37) à mesurer ou à usiner. Un corps de translation cunéiforme (32) est supporté par deux coins de support (24, 26). Selon l'invention, ces coins peuvent subir, indépendamment l'un de l'autre, une translation dans la direction x. Le corps subit une translation dans la direction z par déplacement des coins de support sur une distance égale mais dans des directions opposées. Le corps subit une translation dans la direction y par déplacement des coins de support sur une distance égale dans la même direction. Les parties de l'appareil, se déplaçant mutuellement, sont supportées par des paliers fluides. On obtient ainsi une grande précision car un nombre moins important d'erreurs, en raison de la rigidité non infinie, et de mouvements erronés sont accumulés. Un appareil de mesure par laser (74, 38, 40) est utilisé pour mesurer et ajuster la position du support d'objet (34).
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)