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1. WO2002059704 - PROCEDE ET APPAREIL DE GENERATION AUTOMATIQUE DE PROGRAMMES POUR TRAITEMENT DE PLAQUETTES DANS UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT MULTICHAMBRE DE PLAQUETTES A SEMI-CONDUCTEURS

Numéro de publication WO/2002/059704
Date de publication 01.08.2002
N° de la demande internationale PCT/US2002/002378
Date du dépôt international 28.01.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 06.08.2002
CIB
G05B 19/418 2006.1
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
19Systèmes de commande à programme
02électriques
418Commande totale d'usine, c.à d. commande centralisée de plusieurs machines, p.ex. commande numérique directe ou distribuée (DNC), systèmes d'ateliers flexibles (FMS), systèmes de fabrication intégrés (IMS), productique (CIM)
CPC
G05B 19/41865
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
41865characterised by job scheduling, process planning, material flow
Y02P 90/02
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
90Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • JEVTIC, Dusan B.
Mandataires
  • PATTERSON, William, B.
Données relatives à la priorité
09/771,25426.01.2001US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATICALLY GENERATING SCHEDULES FOR WAFER PROCESSING WITHIN A MULTICHAMBER SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING TOOL
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE GENERATION AUTOMATIQUE DE PROGRAMMES POUR TRAITEMENT DE PLAQUETTES DANS UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT MULTICHAMBRE DE PLAQUETTES A SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé
(EN) A method and apparatus for producing schedules for a wafer in a multichamber semiconductor wafer processing tool comprising the steps of providing a trace defining a series of chambers that are visited by a wafer as the wafer is processed by the tool; initializing a sequence generator with a vertex defining initial wafer positioning within the tool; generating all successor vertices to produce a series of vectors interconnecting the vertices that, when taken together produce a cycle that represents a schedule. All the possible schedules are analyzed to determine a schedule that produces the highest throughput of all the schedules.
(FR) L'invention porte sur un procédé et un appareil de génération de programmes s'appliquant à une plaquette dans un dispositif de traitement multichambre de plaquettes à semi-conducteurs. Ce procédé consiste à reproduire un tracé formant une série de chambres dans lesquelles passe une plaquette lors de son traitement par le dispositif ; initialiser un générateur de séquences avec un noeud définissant le positionnement initial de la plaquette dans le dispositif ; générer tous les noeuds descendants pour produire une série de vecteurs interconnectant les noeuds qui, réunis, produisent un cycle représentant un programme. Tous les éventuels programmes sont analysés pour déterminer celui qui aura le rendement le plus élevé.
Documents de brevet associés
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