WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2002023596) APPAREIL DE TRAITEMENT THERMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/023596    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/008068
Date de publication : 21.03.2002 Date de dépôt international : 17.09.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.04.2002    
CIB :
H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-Chome Minato-Ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
SHIGEOKA, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SAKUMA, Takeshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIGEOKA, Takashi; (JP).
SAKUMA, Takeshi; (JP)
Mandataire : ITOH, Tadahiko; 32nd Floor, Yebisu Garden Place Tower 20-3, Ebisu 4-chome Shibuya-ku, Tokyo 150-6032 (JP)
Données relatives à la priorité :
2000-281371 18.09.2000 JP
Titre (EN) HEAT TREATMENT APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT THERMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A heat treatment apparatus applies a heat treatment to an object to be processed that is placed on a placement stage (38) provided on an upper end of a cylindrical leg part (40) within a process chamber (32). The leg part is rotatably supported within the process chamber. Permanent magnets (60) for rotation and a permanent magnet (70) for floatation are provided to the leg part (40). Electromagnetic coils (62) for rotation are provided to the process chamber (32). Electromagnets (74) for floatation are provided to the process chamber (32) so as to magnetically generate a floating force in the permanent magnet (70) for floatation. Thereby, creation of particles is prevented, and the rotational speed of the object to be processed can be increased.
(FR)L'invention concerne un appareil de traitement thermique qui soumet un objet à un traitement thermique. Cet objet à traiter est placé sur un étage de pose (38) situé sur une extrémité supérieure d'un pied cylindrique (40) à l'intérieur d'une chambre de traitement (32). Le pied est monté pivotant dans la chambre de traitement. Des aimants permanents de rotation (60) et un aimant permanent de flottation (70) sont affectés au pied (40). Des bobines électromagnétiques de rotation (62) sont associées à la chambre de traitement (32). Des électro-aimants de flottation (74) sont associés à la chambre de traitement (32) de manière à générer une force de flottation dans l'aimant permanent de flottation (70). Cela permet de prévenir la formation de particules, ce qui permet d'augmenter la vitesse de rotation de l'objet à traiter.
États désignés : KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)