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1. (WO2002021207) APPAREIL D'EXPOSITION MODULAIRE COMPORTANT UN DISPOSITIF OPTIQUE AMOVIBLE ET PRESENTANT UNE MEILLEURE ISOLATION DU DISPOSITIF OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/021207    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/027639
Date de publication : 14.03.2002 Date de dépôt international : 07.09.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    03.04.2002    
CIB :
G03B 27/42 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 6-3, Nishi-Ohi 1-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 140-8601 (JP) (Tous Sauf US).
WATSON, Douglas, C. [US/US]; (US) (US Seulement).
PHILLIPS, Alton, H. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : WATSON, Douglas, C.; (US).
PHILLIPS, Alton, H.; (US)
Mandataire : PITCHER, David, M.; Staas & Halsey LLP, Suite 500, 700 Eleventh St. N.W., Washington, DC 20001 (US)
Données relatives à la priorité :
09/658,615 08.09.2000 US
Titre (EN) MODULAR EXPOSURE APPARATUS WITH REMOVABLE OPTICAL DEVICE AND IMPROVED ISOLATION OF THE OPTICAL DEVICE
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION MODULAIRE COMPORTANT UN DISPOSITIF OPTIQUE AMOVIBLE ET PRESENTANT UNE MEILLEURE ISOLATION DU DISPOSITIF OPTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An exposure apparatus (10) that includes a support frame (12), a base frame (14), a first stage assembly (16), a second stage assembly (18), an optical frame (20), an optical device (22), and a measurement system (24) is provided herein. The exposure apparatus (10) is typically mounted to a mounting base (30). As provided herein, the optical frame (20), the optical device (22), and a portion of the measurement system (24) can be assembled as an optical assembly (36) that is isolated from the base frame (14) with an optical isolation system (42). Further, the base frame (14), at least a portion of the first stage assembly (16) and the second stage assembly (18) can be assembled as a base assembly (38) that is isolated from the support frame (12) with a base isolation system (40). With this design, the base assembly (38) is isolated from the support frame (12) with the base isolation system (40) and the optical assembly (36) is isolated from the base assembly (38) with the optical isolation system (42). As a result thereof, the assemblies (36), (38) are effectively attached in series to the mounting base (30) with the isolation systems (40), (42) and the optical device (22) is isolated from the mounting base (30) with two levels of isolation. The two levels of isolation systems (40), (42) better isolate the optical device (22) from vibration and disturbances. Further, with the design provided herein, the optical device (22) and the other components of the optical assembly (36) can be accessed relatively easily for service and adjustment.
(FR)L'invention concerne un appareil d'exposition (10) comportant un cadre de support (12), un cadre de base (14), un ensemble premier étage (16), un ensemble second étage (18), un cadre optique (20), un dispositif optique (22) et un système de mesure (24). Cet appareil d'exposition (10) est généralement monté sur une base de montage (30). Le cadre optique (20), le dispositif optique (22) et une partie du système de mesure (24) peuvent être assemblés sous forme d'un ensemble (36) qui est isolé du cadre de base (14) par un système d'isolation optique (42). En outre, le cadre de base (14), au moins une partie de l'ensemble premier étage (16) et de l'ensemble second étage (18) peuvent être assemblés sous forme d'un ensemble de base (38) qui est isolé du cadre de support (12) par un système d'isolation de base (40). Selon cette conception, l'ensemble de base (38) est isolé du cadre de support (12) par le système d'isolation de base (40) et l'ensemble optique (36) est isolé de l'ensemble de base (38) par le système d'isolation optique (42). En conséquence, lesdits ensembles (36, 38) sont montés en série sur la base de montage (30) avec les systèmes d'isolation (40, 42) et le dispositif optique (22) est isolé de la base de montage (30) par deux couches d'isolation. Les deux couches des systèmes d'isolation (40, 42) isolent mieux le dispositif optique (22) des vibrations et des perturbations. Enfin, grâce à la présente conception, on peut accéder au dispositif optique (22) et aux autres composants de l'ensemble optique (36) relativement facilement pour effectuer le service et procéder à des réglages.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)