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1. (WO2002021086) ELEMENT A DEPLACEMENT THERMIQUE ET RADIOMETRE L'UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/021086    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/007608
Date de publication : 14.03.2002 Date de dépôt international : 03.09.2001
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), G01J 5/40 (2006.01), H01L 27/148 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (Tous Sauf US).
ISHIZUYA, Tohru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUZUKI, Junji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ISHIZUYA, Tohru; (JP).
SUZUKI, Junji; (JP)
Mandataire : INOUE, Yoshio; 3F Garoh Bldg., 1-4, Nihonbashi 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 103-0027 (JP)
Données relatives à la priorité :
2000-268839 05.09.2000 JP
2001-187945 21.06.2001 JP
2001-234569 02.08.2001 JP
Titre (EN) THERMAL DISPLACEMENT ELEMENT AND RADIATION DETECTOR USING THE ELEMENT
(FR) ELEMENT A DEPLACEMENT THERMIQUE ET RADIOMETRE L'UTILISANT
Abrégé : front page image
(EN)A thermal displacement element, comprising a base and a supported part supported on the base, the supported part further comprising first and second displacement parts, a thermal separation part with high thermal resistance, and a radiation absorbing part receiving a radiation and converting the radiation into a heat, the first and second displacement parts each further comprising at least two layers of different types of substances with different coefficients of expansion overlapped with each other, wherein the first displacement part is mechanically continued to the base without passing the thermal separation part, the radiation absorbing part and the second displacement part is mechanically continued to the base through the thermal separation part and the first displacement part, the second displacement part is thermally connected to the radiation absorbing part, and a thermal radiation detector comprises the thermal displacement element and a displacement reading member fixed to the second displacement part of the thermal displacement element and used to obtain a specified variation produced in the second displacement part.
(FR)L'invention porte sur un élément à déplacement thermique comprenant une base et une pièce reposant sur la base. Ladite pièce comporte elle-même une première et une deuxième partie à déplacement thermique, un bouclier de séparation thermique à forte résistance thermique, et un absorbeur de rayonnement convertissant le rayonnement en chaleur. La première et la deuxième partie à déplacement thermique comportent chacune au moins deux couches se recouvrant de différents matériaux et de différents coefficients de dilatation. La première partie à déplacement thermique se prolonge mécaniquement jusqu'à la base sans traverser le bouclier thermique tandis que l'absorbeur et la deuxième partie à déplacement thermique se prolongent mécaniquement jusqu'à la base en traversant le bouclier thermique et la première partie à déplacement thermique. La deuxième partie à déplacement thermique est reliée thermiquement à l'absorbeur. L'invention porte également sur un radiomètre comportant l'élément à déplacement thermique et une échelle de lecture fixée à la deuxième partie à déplacement thermique et servant à mesurer une variation particulière produite dans la deuxième partie à déplacement thermique.
États désignés : CN, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)