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1. (WO2002019509) ENSEMBLE D'ENTRAINEMENT A PEIGNES COMPORTANT DES DOIGTS D'ENTRAINEMENT PRESENTANT DES SECTIONS TRANSVERSALES VARIABLES ET LEUR PROCEDE DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/019509    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/026775
Date de publication : 07.03.2002 Date de dépôt international : 28.08.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    26.03.2002    
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), H02N 1/00 (2006.01)
Déposants : HONEYWELL INTERNATIONAL INC. [US/US]; 101 Columbia Avenue, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Inventeurs : HAYS, Kenneth, M.; (US)
Mandataire : CRISS, Roger, H.; Honeywell International Inc., 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Données relatives à la priorité :
09/649,625 28.08.2000 US
Titre (EN) COMB DRIVE ASSEMBLY HAVING COMB DRIVE FINGERS WITH VARYING CROSS-SECTIONS AND METHODS OF MAKING SAME
(FR) ENSEMBLE D'ENTRAINEMENT A PEIGNES COMPORTANT DES DOIGTS D'ENTRAINEMENT PRESENTANT DES SECTIONS TRANSVERSALES VARIABLES ET LEUR PROCEDE DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)A MEMS comb drive assembly and associated methods of fabrication are provide that are capable of gap variance between adjacent interdigitated comb drive fingers during comb drive operation. Gap variance allows for an increase in motive force by increasing the average capacitance variation of the comb structure as the distance between the comb fingers varies. The comb drive assembly includes first and second comb drive members that each comprise a series of comb drive fingers. The comb drive fingers will characteristically have cross-sections that vary in area along any lengthwise position of the comb drive finger. This variance in cross-sectional area provides for a gap differential between adjacent interdigitated comb drive fingers when the comb drive assembly is operational. As the gap varies during comb drive operation, the average variance in capacitance between opposing comb drive fingers increase, thereby increasing the motive force capabilities of the comb drive assembly. In one embodiment of the invention, the comb drive fingers are configured as wedge shaped structures in a plan view; moreover the comb drive fingers are frusto wedge shaped structures in a plan view. The wedge shaped configuration allows for the comb drive fingers of opposing comb drive members to be interdigitated such that the gap between adjacent comb fingers varies as the fingers are placed into motion. The frusto wedge shaped embodiment allows for the end of the body of the comb finger furthest from the base of the comb drive member to be truncated, so that ends of the comb drive fingers do not repeatedly contact the base of the opposing comb drive member during normal operation. In a further embodiment of the invention the comb drive assembly is a rotary comb drive assembly capable of imparting rotary motion to a torsional resonance plate. The invention further provides for methods of fabricating comb drive fingers.
(FR)L'invention concerne un ensemble d'entraînement à peignes du type microsystème électromécanique et des procédés de fabrication associés. Cet ensemble d'entraînement à peignes permet une modification de l'écartement entre les doigts de peignes d'entraînement adjacents interdigités durant le fonctionnement de l'entraînement à peignes. La modification de l'écartement permet une augmentation de la force motrice grâce à l'augmentation de la variation de la capacitance moyenne de la structure à peigne à mesure que la distance entre les doigts des peignes varie. L'ensemble d'entraînement à peignes comprend un premier et un deuxième membre d'entraînement en peigne comprenant chacun une série de doigts de peignes d'entraînement. Les doigts d'entraînement de peignes présentent de manière caractéristique des sections transversales dont la surface varie d'un point à l'autre sur toute leur longueur. Cette variation de la surface de la section transversale procure un différentiel d'écartement entre des doigts de peigne d'entraînement adjacents interdigités lors du fonctionnement de l'ensemble d'entraînement à peignes. Lorsque l'écartement varie durant le fonctionnement de l'entraînement à peignes, la variation moyenne de la capacitance entre des doigts opposés de peignes d'entraînement augmente, ce qui fait augmenter les ressources de force motrice de l'ensemble d'entraînement à peignes. Dans un mode de réalisation, les doigts de peignes d'entraînement sont configurés de manière à présenter des structures taillées en biseau dans une vue en plan; les doigts de peignes d'entraînement peuvent encore présenter des structures taillées en biseau de façon fractionnée dans une vue en plan. La configuration de forme en biseau permet aux doigts de peignes d'entraînement de membres d'entraînement en peigne opposés d'être interdigités de manière que l'écartement entre les doigts adjacents des peignes varie lorsque les doigts sont mis en mouvement. La structure de taille en biseau de façon fractionnée permet à l'extrémité du corps du doigt de peigne la plus éloignée de la base du membre d'entraînement en peigne d'être tronquée, de manière que les extrémités des doigts de peignes d'entraînement n'entrent pas en contact de manière répétée avec la base du membre d'entraînement en peigne opposé durant le fonctionnement normal. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, l'ensemble d'entraînement à peignes est un ensemble rotatif d'entraînement à peignes pouvant imprimer un mouvement rotatif à une plaque de résonance de torsion. L'invention concerne en outre des procédés de réalisation des doigts de peignes d'entraînement.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)