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1. WO2001080413 - APPAREIL D'ALIMENTATION ELECTRIQUE BIPOLAIRE

Numéro de publication WO/2001/080413
Date de publication 25.10.2001
N° de la demande internationale PCT/DE2001/001508
Date du dépôt international 17.04.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 16.11.2001
CIB
H02M 7/5387 2007.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
MAPPAREILS POUR LA TRANSFORMATION DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT ALTERNATIF, DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT CONTINU OU VICE VERSA OU DE COURANT CONTINU EN COURANT CONTINU ET EMPLOYÉS AVEC LES RÉSEAUX DE DISTRIBUTION D'ÉNERGIE OU DES SYSTÈMES D'ALIMENTATION SIMILAIRES; TRANSFORMATION D'UNE PUISSANCE D'ENTRÉE EN COURANT CONTINU OU COURANT ALTERNATIF EN UNE PUISSANCE DE SORTIE DE CHOC; LEUR COMMANDE OU RÉGULATION
7Transformation d'une puissance d'entrée en courant alternatif en une puissance de sortie en courant continu; Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant alternatif
42Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant alternatif sans possibilité de réversibilité
44par convertisseurs statiques
48utilisant des tubes à décharge avec électrode de commande ou des dispositifs à semi-conducteurs avec électrode de commande
53utilisant des dispositifs du type triode ou transistor exigeant l'application continue d'un signal de commande
537utilisant uniquement des dispositifs à semi-conducteurs, p.ex. onduleurs à impulsions à un seul commutateur
5387dans une configuration en pont
CPC
H02M 7/5387
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
7Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
42Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
44by static converters
48using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
53using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
537using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters
5387in a bridge configuration
Déposants
  • MELEC GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • MARK, Günter [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • MARK, Günter
Mandataires
  • WAHL, Hendrik
Données relatives à la priorité
100 18 879.617.04.2000DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) STROMVERSORGUNGSGERÄT ZUR BIPOLAREN STROMVERSORGUNG
(EN) POWER SUPPLY UNIT FOR BIPOLAR POWER SUPPLY
(FR) APPAREIL D'ALIMENTATION ELECTRIQUE BIPOLAIRE
Abrégé
(DE)
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Stromversorgungsgerät zur bipolaren Stromversorgung einer Anlage der Plasma- oder Oberflächentechnik, das mindestens ein regelbares Gleichstromnetzteil (G1,G2) aufweist, dessen positive und negative Ausgänge mit dem Eingang wenigstens einer Brückenschaltung von elektronischen Leistungsschaltern (T1 bis T4) verbunden sind, welche Leistungsschalter eingangsseitig mit wenigstens einer Steuersignalaufbereitungseinrichtung und ausgangsseitig mit wenigstens einer Stromerfassungsschaltung zur Steuerung/Regelung der Leistungsschalter und mit der Last der Anlage (A) verbunden sind. Durch die Erfindung können Stromimpulse mit frei wählbaren Amplituden (Vo+, Vo-) für die positiven und negativen Stromimpulse erzeugt werden, indem für jede Brückenschaltung (T1 bis T4) zwei Gleichstromnetzteile (G1, G2) vorgesehen sind, und der positive Ausgang der beiden Gleichstromnetzteile über eine Serienschaltung jeweils zweier Leistungsschalter (T1 und T4;T2 und T3) mit dem negativen Ausgang des anderen Gleichstromnetzteils (G2,G1) verbunden ist, wobei der Ausgang der Brückenschaltung für die Anlage (A) jeweils zwischen den Leistungsschaltern der beiden Serienschaltungen abgreift.
(EN)
The invention relates to a power supply unit for bipolar power supply of a plasma- or surface-technology instrument, comprising at least one controllable DC-network component (G1,G2), the positive and negative outputs of which are connected to the input of at least one bridge circuit of electronic power circuit breakers (T1 to T4). Said power breakers are connected on the input side to at least one control signal generation device and on the output side to at least one current detector switch, for control/regulation of the power breakers and connected to the load on the unit (A). According to the invention, current pulses with freely selectable amplitudes (Vo+, Vo-) are generated for the positive and negative impulses, by providing two DC network components (G1, G2) for each bridge circuit (T1 to T4). The positive output of both DC network components are each connected to the negative output of the other DC network component (G2,G1) by a series connection of two power breakers (T1 and T4;T2 and T3), whereby the output of the bridge circuit for the unit (A) is tapped off from between the power breakers of each of both series connections.
(FR)
L'invention concerne un appareil d'alimentation électrique servant à assurer l'alimentation électrique bipolaire d'une unité de la technique du plasma ou de traitement de surfaces. Cet appareil comprend au moins un bloc d'alimentation en courant continu (G1,G2) régulable, dont les sorties positives et négatives sont raccordées à l'entrée d'au moins un circuit en pont par des interrupteurs de puissance électroniques (T1 à T4). Ces derniers sont raccordés, côté entrée, à au moins une unité de mise en forme de signal de commande et, côté sortie, à au moins un circuit de détection de courant servant à commander/réguler les interrupteurs de puissance, ainsi qu'à la charge de l'unité (A). L'invention permet de produire des impulsions de courant d'amplitudes librement sélectionnables (Vo+, Vo-) pour les impulsions de courant positives et négatives, car deux blocs d'alimentation en courant continu (G1, G2) sont prévus pour chaque circuit en pont (T1 à 4). La sortie positive des deux blocs d'alimentation en courant continu est raccordée à la sortie négative de l'autre bloc d'alimentation en courant continu (G2, G1) par l'intermédiaire d'un montage en série de deux interrupteurs de puissance (T1 et T4;T2 et T3), le signal de sortie du circuit en pont pour l'unité (A) étant prélevé respectivement entre les interrupteurs de tension des deux montages en série.
Également publié en tant que
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